1. Forigo de polvopartikloj en senpolva pura ĉambro
La ĉefa funkcio de pura ĉambro estas kontroli la purecon, temperaturon kaj humidecon de la atmosfero, al kiu produktoj (kiel ekzemple siliciaj blatoj, ktp.) estas eksponitaj, por ke la produktoj povu esti produktitaj kaj fabrikitaj en bona spaco kun bona medio. Ni nomas ĉi tiun spacon pura ĉambro. Laŭ internacia praktiko, la purecnivelo estas ĉefe determinita de la nombro da partikloj po kuba metro da aero kun diametro pli granda ol la klasifika normo. Alivorte, la tiel nomata senpolva ne estas 100% senpolva, sed kontrolita en tre malgranda unuo. Kompreneble, la partikloj, kiuj plenumas la polvonormon en ĉi tiu normo, jam estas tre malgrandaj kompare kun la ordinara polvo, kiun ni vidas, sed por optikaj strukturoj, eĉ malmulte da polvo havos tre grandan negativan efikon, do senpolva estas neevitebla postulo en la produktado de optikaj strukturaj produktoj.
Kontroli la nombron de polvopartikloj kun partikla grandeco pli granda ol aŭ egala al 0.5 mikrometroj po kuba metro ĝis malpli ol 3520/kuba metro atingos klason A de la internacia senpolva normo. La senpolva normo uzata en ĉip-nivela produktado kaj prilaborado havas pli altajn postulojn por polvo ol klaso A, kaj tia alta normo estas ĉefe uzata en la produktado de iuj pli altnivelaj ĉipoj. La nombro de polvopartikloj estas strikte kontrolata je 35 200 po kuba metro, kio estas ofte konata kiel klaso B en puraĉambra industrio.
2. Tri specoj de puraĉambraj statoj
Malplena pura ĉambro: pura ĉambro, kiu estis konstruita kaj povas esti ekfunkciigata. Ĝi havas ĉiujn koncernajn servojn kaj funkciojn. Tamen, ne estas ekipaĵo funkciigata de funkciigistoj en la instalaĵo.
Statika pura ĉambro: pura ĉambra instalaĵo kun kompletaj funkcioj, ĝustaj agordoj kaj instalado, kiu povas esti uzata laŭ la agordoj aŭ estas en uzo, sed ne estas funkciigistoj en la instalaĵo.
Dinamika pura ĉambro: pura ĉambro en normala uzo, kun kompletaj servaj funkcioj, ekipaĵo kaj personaro; se necese, normala laboro povas esti plenumita.
3. Kontrolaj eroj
(1). Povas forigi polverojn ŝvebantajn en la aero.
(2). Povas malhelpi la generadon de polvopartikloj.
(3). Kontrolo de temperaturo kaj humideco.
(4). Premreguligo.
(5). Forigo de damaĝaj gasoj.
(6). Hermetikeco de strukturoj kaj kupeoj.
(7). Malhelpo de statika elektro.
(8). Malhelpado de elektromagneta interfero.
(9). Konsidero de sekurecaj faktoroj.
(10). Konsidero pri energiŝparo.
4. Klasifiko
Turbula fluotipo
Aero eniras la puran ĉambron el la klimatizilo tra la aerdukto kaj la aerfiltrilo (HEPA) en la pura ĉambro, kaj estas resendita de la disigaj murpaneloj aŭ levitaj plankoj ambaŭflanke de la pura ĉambro. La aerfluo ne moviĝas linie, sed prezentas neregulan turbulan aŭ kirlan staton. Ĉi tiu tipo taŭgas por puraj ĉambroj de klaso 1.000-100.000.
Difino: Pura ĉambro, kie la aerfluo fluas kun neegala rapideco kaj ne estas paralela, akompanata de refluo aŭ kirlofluo.
Principo: Turbulaj puraj ĉambroj dependas de la aerfluo por kontinue dilui la endoman aeron kaj iom post iom dilui la poluitan aeron por atingi purecon (turbulaj puraj ĉambroj estas ĝenerale desegnitaj je purecniveloj super 1 000 ĝis 300 000).
Trajtoj: Turbulaj puraj ĉambroj dependas de pluraj ventoladoj por atingi purecon kaj purecnivelojn. La nombro da ventoladŝanĝoj determinas la purignivelon en la difino (ju pli da ventoladŝanĝoj, des pli alta la purecnivelo)
(1) Tempo de mempurigo: rilatas al la tempo kiam la pura ĉambro komencas provizi aeron al la pura ĉambro laŭ la desegnita ventolila numero kaj la polvokoncentriĝo en la ĉambro atingas la desegnitan purecnivelon. Klaso 1000 estas atendata ne pli ol 20 minutoj (15 minutoj povas esti uzataj por kalkulo). Klaso 10000 estas atendata ne pli ol 30 minutoj (25 minutoj povas esti uzataj por kalkulo). Klaso 100000 estas atendata ne pli ol 40 minutoj (30 minutoj povas esti uzataj por kalkulo).
(2) Ventolada frekvenco (dezajnita laŭ la supre menciitaj mempurigaj tempopostuloj) klaso 1.000: 43,5-55,3 fojojn/horo (norme: 50 fojojn/horo) klaso 10.000: 23,8-28,6 fojojn/horo (norme: 25 fojojn/horo) klaso 100.000: 14,4-19,2 fojojn/horo (norme: 15 fojojn/horo)
Avantaĝoj: simpla strukturo, malalta kosto de konstruado de sistemo, facile pligrandigebla pura ĉambro, en iuj specialcelaj lokoj, senpolva pura benko povas esti uzata por plibonigi la kvaliton de la pura ĉambro.
Malavantaĝoj: polvopartikloj kaŭzitaj de turbuleco flosas en endoma spaco kaj malfacile eligeblas, kio povas facile malpurigi procezajn produktojn. Krome, se la sistemo estas haltigita kaj poste aktivigita, ofte necesas longa tempo por atingi la bezonatan purecon.
Lamena fluo
Lamenflua aero moviĝas laŭ unuforma rekta linio. Aero eniras la ĉambron tra filtrilo kun 100%-a kovrofteco kaj estas resendita tra la levita planko aŭ la dispartigaj tabuloj ambaŭflanke. Ĉi tiu tipo taŭgas por uzo en puraĉambraj medioj kun pli altaj puraĉambraj gradoj, ĝenerale klaso 1~100. Ekzistas du tipoj:
(1) Horizontala lamenfluo: Horizontala aero estas elblovita el la filtrilo en unu direkto kaj resendita per la revena aersistemo sur la kontraŭa muro. Polvo estas eligita eksteren en la aerdirekto. Ĝenerale, poluado estas pli grava ĉe la malsuprenflua flanko.
Avantaĝoj: Simpla strukturo, povas stabiliĝi en mallonga tempo post operacio.
Malavantaĝoj: La konstrukosto estas pli alta ol tiu de turbula fluo, kaj la interna spaco ne facile vastigeblas.
(2) Vertikala lamena fluo: La plafono de la ĉambro estas tute kovrita per ULPA-filtriloj, kaj aero estas blovata de supre malsupren, kio povas atingi pli altan purecon. Polvo generita dum la procezo aŭ de la dungitaro povas esti rapide eligita eksteren sen tuŝi aliajn laborareojn.
Avantaĝoj: Facile administrebla, stabila stato atingeblas ene de mallonga tempo post la komenco de la operacio, kaj ne facile influata de la funkcianta stato aŭ funkciigistoj.
Malavantaĝoj: Alta konstrukosto, malfacileco flekseble uzi spacon, plafonaj pendiloj okupas multan spacon, kaj malfacilas ripari kaj anstataŭigi filtrilojn.
Komponita tipo
La kompozita tipo estas kombini aŭ uzi turbulan fluon kaj lamenan fluon kune, kiuj povas provizi lokan ultra-puran aeron.
(1) Pura Tunelo: Uzu HEPA- aŭ ULPA-filtrilojn por kovri 100% de la procezareo aŭ laborareo por pliigi la purecnivelon super Klaso 10, kio povas ŝpari instalajn kaj funkciigajn kostojn.
Ĉi tiu tipo postulas, ke la laborareo de la funkciigisto estu izolita de la produkto kaj maŝinprizorgado por eviti influi la laboron kaj kvaliton dum maŝinprizorgado.
Puraj tuneloj havas du aliajn avantaĝojn: A. Facile pligrandigeblaj; B. Ekipaĵprizorgado povas esti facile farita en la prizorgadareo.
(2) Pura Tubo: Ĉirkaŭu kaj purigu la aŭtomatan produktadlinion, tra kiu la produktofluo pasas, kaj pliigu la purecnivelon super klaso 100. Ĉar la produkto, funkciigisto kaj polvogeneranta medio estas izolitaj unu de la alia, malgranda kvanto da aerprovizo povas atingi bonan purecon, kio povas ŝpari energion kaj estas plej taŭga por aŭtomataj produktadlinioj, kiuj ne postulas manlaboron. Ĝi aplikeblas al la farmacia, nutraĵa kaj duonkonduktaĵa industrioj.
(3) Pura Punkto: La purecnivelo de la produkta prilabora areo en la turbula pura ĉambro kun pura ĉambra nivelo de 10 000 ~ 100 000 estas pliigita al 10 ~ 1000 aŭ pli por produktadaj celoj; puraj labortabloj, puraj ŝedoj, prefabrikitaj puraj ĉambroj kaj puraj ŝrankoj apartenas al ĉi tiu kategorio.
Pura benko: klaso 1~100.
Pura budo: Malgranda spaco ĉirkaŭita de antistatika travidebla plasta ŝtofo en turbula pura ĉambro, uzante sendependajn HEPA aŭ ULPA kaj klimatizilojn por iĝi pli altnivela pura spaco, kun nivelo de 10~1000, alteco de ĉirkaŭ 2.5 metroj, kaj kovra areo de ĉirkaŭ 10m² aŭ malpli. Ĝi havas kvar kolonojn kaj estas ekipita per moveblaj radoj por fleksebla uzo.
5. Aerfluo
Graveco de Aerfluo
La pureco de pura ĉambro ofte estas influata de aerfluo. Alivorte, la movado kaj difuzo de polvo generita de homoj, maŝinsekcioj, konstruaĵaj strukturoj, ktp. estas kontrolataj de aerfluo.
La pura ĉambro uzas HEPA kaj ULPA por filtri aeron, kaj ĝia polvokolekta indico estas tiel alta kiel 99.97~99.99995%, do la aero filtrita per ĉi tiu filtrilo povas esti dirita kiel tre pura. Tamen, krom homoj, ekzistas ankaŭ polvofontoj kiel maŝinoj en la pura ĉambro. Post kiam ĉi tiuj generitaj polvoj disvastiĝas, estas neeble konservi puran spacon, do aerfluo devas esti uzata por rapide eligi la generitan polvon eksteren.
Influantaj Faktoroj
Estas multaj faktoroj, kiuj influas la aerfluon de pura ĉambro, kiel ekzemple proceza ekipaĵo, personaro, materialoj por muntado de pura ĉambro, lumigiloj, ktp. Samtempe, oni ankaŭ devas konsideri la deturniĝan punkton de la aerfluo super la produktada ekipaĵo.
La punkto de deturno de aerfluo sur la surfaco de ĝenerala operacia tablo aŭ produktada ekipaĵo estu agordita je 2/3 de la distanco inter la pura ĉambro kaj la disiga plato. Tiel, kiam la funkciigisto laboras, la aerfluo povas flui de la interno de la prilabora areo al la operacia areo kaj forpreni la polvon; se la punkto de deturno estas agordita antaŭ la prilabora areo, ĝi fariĝos nedeca deturno de aerfluo. Tiamaniere, plejparto de la aerfluo fluos al la malantaŭo de la prilabora areo, kaj la polvo kaŭzita de la operacio de la funkciigisto estos portata al la malantaŭo de la ekipaĵo, kaj la labortablo estos poluita, kaj la rendimento neeviteble malpliiĝos.
Malhelpoj kiel labortabloj en puraj ĉambroj havos kirlofluojn ĉe la kruciĝo, kaj la pureco proksime de ili estos relative malbona. Borado de revenaera truo sur la labortablo minimumigos la kirlofluan fenomenon; ĉu la elekto de muntmaterialoj estas taŭga kaj ĉu la ekipaĵa aranĝo estas perfekta ankaŭ estas gravaj faktoroj por ĉu la aerfluo fariĝas kirloflua fenomeno.
6. Konsisto de pura ĉambro
La konsisto de pura ĉambro konsistas el la jenaj sistemoj (neniu el kiuj estas nemalhavebla en la sistemaj molekuloj), alie ne eblos formi kompletan kaj altkvalitan puran ĉambron:
(1) Plafonsistemo: inkluzive de plafonstango, I-trabo aŭ U-trabo, plafonkrado aŭ plafonkadro.
(2) Klimatizilo: inkluzive de aerkabino, filtrilo, ventomuelejo, ktp.
(3) Disdivida muro: inkluzive de fenestroj kaj pordoj.
(4) Planko: inkluzive de levita planko aŭ antistatika planko.
(5) Lumigiloj: LED-puriga plata lampo.
La ĉefa strukturo de la pura ĉambro estas ĝenerale farita el ŝtalaj stangoj aŭ osta cemento, sed sendepende de kia strukturo ĝi estas, ĝi devas plenumi la jenajn kondiĉojn:
A. Neniuj fendetoj okazos pro temperaturŝanĝiĝoj kaj vibroj;
B. Ne estas facile produkti polvopartiklojn, kaj estas malfacile por partikloj alkroĉiĝi;
C. Malalta higroskopeco;
D. Por konservi la humidecajn kondiĉojn en pura ĉambro, la termika izolado devas esti alta;
7. Klasifiko laŭ uzo
Industria pura ĉambro
La celo estas kontroli senvivajn partiklojn. Ĝi ĉefe kontrolas la poluadon de aeraj polvopartikloj al la laborata objekto, kaj la interno ĝenerale konservas pozitivan premon. Ĝi taŭgas por la industrio de precizaj maŝinaroj, elektronika industrio (duonkonduktaĵoj, integraj cirkvitoj, ktp.), aerspaca industrio, altpureca kemia industrio, atomenergia industrio, optika kaj magneta produkta industrio (produktado de KD, filmo, bendo), LCD (likva kristala vitro), komputila disko, komputila kapproduktado kaj aliaj industrioj.
Biologia pura ĉambro
Ĉefe kontrolas la poluadon de vivaj partikloj (bakterioj) kaj senvivaj partikloj (polvo) al la laboranta objekto. Ĝi povas esti dividita en;
A. Ĝenerala biologia pura ĉambro: ĉefe kontrolas la poluadon de mikrobaj (bakteriaj) objektoj. Samtempe, ĝiaj internaj materialoj devas povi elteni la erozion de diversaj steriligaj agentoj, kaj la interno ĝenerale garantias pozitivan premon. Esence, la internaj materialoj devas povi elteni diversajn steriligajn traktadojn de industria pura ĉambro. Ekzemploj: farmacia industrio, hospitaloj (operaciejoj, sterilaj sekcioj), nutraĵoj, kosmetikaĵoj, produktado de trinkaĵoj, bestolaboratorioj, fizikaj kaj kemiaj testaj laboratorioj, sangostacioj, ktp.
B. Biologia sekureca pura ĉambro: ĉefe kontrolas la poluadon de vivaj partikloj de la laboranta objekto al la ekstera mondo kaj homoj. La interna premo devas esti konservata negativa kompare kun la atmosfero. Ekzemploj: bakteriologio, biologio, puraj laboratorioj, fizika inĝenierarto (rekombinaj genoj, vakcina preparado)
Afiŝtempo: 7-a de februaro 2025