La instalado de proceza ekipaĵo en pura ĉambro devas baziĝi sur la dezajno kaj funkcio de la pura ĉambro. La sekvaj detaloj estos enkondukitaj.
1. Metodo de instalado de ekipaĵo: La ideala metodo estas fermi puran ĉambron dum la periodo de instalado de ekipaĵo, kaj havi pordon kiu povas renkonti la rigardan angulon de la ekipaĵo aŭ rezervi trairejon por permesi novan ekipaĵon trapasi kaj eniri puran ĉambron en ordo. por malhelpi puran ĉambron proksime de instalaĵperiodo de esti poluita, protektaj mezuroj devus esti prenitaj por certigi ke pura ĉambro daŭre renkontas siajn purecpostulojn kaj la postan laboron postulita.
2. Se la laboro en pura ĉambro ne povas esti ĉesigita dum ĉiu instala periodo, aŭ se ekzistas strukturoj, kiuj devas esti malmuntitaj, kurante pura ĉambro devas esti efike izolita de la laborareo: provizoraj izolaj muroj aŭ vadoj povas esti uzataj. Por ne malhelpi la instaladon, devus esti sufiĉe da spaco ĉirkaŭ la ekipaĵo. Se kondiĉoj permesas, aliro al la izola areo povas esti tra servaj kanaloj aŭ aliaj ne-kritikaj areoj: se tio ne eblas, oni devas preni mezurojn por minimumigi la poluan efikon kaŭzitan de la instalaĵo. La izola areo devus konservi egalan premon aŭ negativan premon. La pura aerprovizo devas esti fortranĉita en la alta areo por eviti pozitivan premon sur ĉirkaŭa pura ĉambro. Se aliro al la izola areo estas nur tra apuda pura ĉambro, gluiĝemaj kusenetoj devas esti uzitaj por forigi malpuraĵon portitan sur ŝuoj.
3. Post eniro en la altaltitudan areon, forĵeteblaj botoj aŭ ŝuoj kaj unupecaj laborvestoj povas esti uzataj por eviti poluadon de pura ĉambro. Ĉi tiuj unu-uzeblaj aĵoj devas esti forigitaj antaŭ ol foriri de la kvarantena areo. Metodoj por monitori la areon ĉirkaŭ la izoleca areo dum la ekipaĵinstaladprocezo devus esti evoluigitaj kaj la ofteco de monitorado devus esti determinita por certigi ke ajna poluado kiu povas liki en la apudan puran ĉambron estas detektita. Post kiam la izolaj mezuroj estas starigitaj, diversaj postulataj publikservaj instalaĵoj povas esti starigitaj kiel elektro, akvo, gaso, vakuo, kunpremita aero kaj rubakvoduktoj, oni devas atenti kontroli kaj izoli la fumon kaj derompaĵojn generitajn de la operacio kiel kiom eble por eviti preterintencan disvastiĝon al ĉirkaŭa pura ĉambro. Ĝi ankaŭ devus faciligi efikan purigadon antaŭ ol forigi la izolan baron. Post kiam la publikservaj instalaĵoj plenumas la uzpostulojn, la tuta izola areo devas esti purigita kaj senpoluigita laŭ la preskribitaj purigaj proceduroj. Ĉiuj surfacoj, inkluzive de ĉiuj muroj, ekipaĵo (fiksaj kaj moveblaj) kaj plankoj, devas esti malplenaj, viŝitaj kaj ŝvabritaj, kun speciala atento estanta pagita al purigado de areoj malantaŭ ekipaĵgardistoj kaj sub ekipaĵo.
4. Prepara testo de ekipaĵo agado povas esti farita surbaze de la realaj kondiĉoj de la pura ĉambro kaj instalita ekipaĵo, sed posta akceptotestado devas esti farita kiam la puraj mediokondiĉoj estas plene plenumitaj. Depende de la kondiĉoj ĉe la instala loko, vi povas zorge malmunti la izolan muron; se la pura aerprovizo estis malŝaltita, rekomencu ĝin; la tempo por ĉi tiu fazo de laboro estu zorge elektita por minimumigi interferon kun la normala laboro de la pura ĉambro. Ĉi-momente, eble necesas mezuri ĉu la koncentriĝo de aeraj partikloj plenumas la specifitajn postulojn.
5. Purigado kaj preparado de la interno de la ekipaĵo kaj ŝlosilaj procezaj ĉambroj devas esti efektivigitaj sub normalaj purĉambraj kondiĉoj. Ĉiuj internaj ĉambroj kaj ĉiuj surfacoj kiuj kontaktas la produkton aŭ estas implikitaj en produkta transporto devas esti forviŝitaj ĝis la bezonata nivelo de pureco. La purigada sekvenco de la ekipaĵo devas esti de supre ĝis malsupre. Se partikloj estas disvastigitaj, pli grandaj partikloj falos al la fundo de la ekipaĵo aŭ la grundo pro gravito. Purigu la eksteran surfacon de la ekipaĵo de supre ĝis malsupre. Kiam necese, surfacpartiklodetekto devus esti farita en lokoj kie la produkto aŭ produktadprocezaj postuloj estas kritikaj.
6. Konsiderante la karakterizaĵojn de pura ĉambro, precipe la granda areo, alta investo, alta produktado kaj tre striktaj pureco postuloj de altteknologia pura ĉambro, la instalado de produktadproceza ekipaĵo en ĉi tiu tipo de pura ĉambro pli similas al tio. de ordinara pura ĉambro. Ne estas specifaj postuloj. Tiucele, la nacia normo "Kodo por Pura Ĉambro-Konstruo kaj Kvalita Akcepto" eldonita faris iujn provizojn por la instalado de produktadprocezaj ekipaĵoj en pura ĉambro, ĉefe inkluzive de la jenaj.
A. Por malhelpi poluadon aŭ eĉ damaĝon al pura ĉambro (areo), kiu spertis "malplenan" akcepton dum la instala procezo de produktadproceza ekipaĵo, la instala procezo de la ekipaĵo ne devas havi troan vibradon aŭ kliniĝon, kaj ne devas esti. dividitaj kaj polui ekipaĵsurfacojn.
B. Por igi la instaladon de produktadproceza ekipaĵo en pura ĉambro (areo) orda kaj sen aŭ kun malpli sidado, kaj sekvi la puran produktadmastruman sistemon en pura ĉambro, certigu, ke la instala procezo de la produktada ekipaĵo estas protektita laŭ al la diversaj "pretaj produktoj" kaj "duonpretaj produktoj" akceptitaj en "malplena stato", materialoj, maŝinoj, ktp, kiuj devas esti uzataj en la instala procezo, ne devas elsendi aŭ povas produkti (inkluzive en la normala funkciado de la puraĵo). ĉambro dum longa tempo) malpurigaĵoj, kiuj estas damaĝaj al la produktitaj produktoj. Puraj ĉambraj materialoj, kiuj estas senpolvaj, rustaj, grasaj kaj ne produktas polvon dum uzo, devas esti uzataj.
C. La konstruaĵa ornama surfaco de la pura ĉambro (areo) devas esti protektita per puraj ĉambroj paneloj, filmoj kaj aliaj materialoj; la ekipaĵa subtena plato devas esti farita laŭ la postuloj pri dezajno aŭ ekipaĵo teknika dokumento. Se ne ekzistas postuloj, neoksideblaj ŝtalaj platoj aŭ plastaj platoj estu uzataj. Karbonŝtalaj profiloj uzataj por sendependaj fundamentoj kaj plankaj plifortigoj devas esti traktataj per kontraŭ-korodo, kaj la surfaco devas esti plata kaj glata; elastaj sigelmaterialoj devas esti uzataj por kalfado.
D. Materialoj devas esti markitaj per ingrediencoj, varioj, dato de fabrikado, konservada valideca periodo, konstrumetoda instrukcioj kaj produktaj atestiloj. Maŝinaro kaj iloj uzataj en pura ĉambro (areoj) ne devas esti movitaj al nepura ĉambro (areoj) por uzo. Maŝinaro kaj iloj ne devas esti movitaj al pura ĉambro (areo) por uzo. Maŝinaro kaj iloj uzataj en pura areo devas certigi, ke la elmontritaj partoj de la maŝino ne produktas polvon aŭ prenu rimedojn por malhelpi polvon polui la medion. Ofte uzataj maŝinoj kaj iloj devas esti purigitaj en aerkluzo antaŭ ol esti movitaj al pura areo kaj devus plenumi la postulojn de esti oleo-liberaj, malpuraĵo-liberaj, kaj rust-liberaj, kaj devus esti movitaj post trapaso de la inspektado kaj alfiksado. signon "Pura" aŭ "Nur Pura Areo".
E. La produktadproceza ekipaĵo en pura ĉambro (areo) devas esti instalita sur "specifaj plankoj" kiel ekzemple plialtigitaj plankoj. La ekipaĵa fundamento devus ĝenerale esti starigita sur la malsupra teknika interetaĝo aŭ sur la cementa pora plato; la agadoj kiuj devas esti malmuntitaj por instali la fundamenton. La strukturo de la planko post esti tranĉita per portebla elektra segilo devas esti plifortigita, kaj ĝia ŝarĝa kapablo ne estu pli malalta ol la originala ŝarĝa kapablo. Kiam sendependa fundamento de ŝtala frama strukturo estas uzata, ĝi devas esti farita el galvanizita materialo aŭ neoksidebla ŝtalo, kaj la elmontrita surfaco devas esti plata kaj glata.
F. Kiam la instala procezo de produktadproceza ekipaĵo en pura ĉambro (areo) postulas malfermi truojn en murpaneloj, suspenditaj plafonoj kaj levitaj plankoj, la boraj operacioj ne devas dividi aŭ polui la surfacojn de murpaneloj kaj suspenditaj plafonaj paneloj, kiuj devas esti; retenita. Post la malfermo de la levita planko kiam la fundamento ne povas esti instalita ĝustatempe, sekurecaj bariloj kaj danĝersignoj devas esti instalitaj; post kiam la produktada ekipaĵo estas instalita, la breĉo ĉirkaŭ la truo devas esti sigelita, kaj la ekipaĵo kaj sigelaj komponantoj devas esti en fleksebla kontakto, kaj la ligo inter la sigela komponanto kaj la murpanelo devas esti streĉa kaj firma; la sigela surfaco sur unu flanko de la laborĉambro devas esti plata kaj glata.
Afiŝtempo: Jan-16-2024