La instalado de procesekipaĵo en pura ĉambro devus esti bazita sur la dezajno kaj funkcio de la pura ĉambro. La jenaj detaloj estos prezentitaj.
1. Metodo por instali ekipaĵon: La ideala metodo estas fermi la puran ĉambron dum la instalado de la ekipaĵo, kaj havi pordon, kiu povas konformiĝi al la vidangulo de la ekipaĵo, aŭ rezervi trairejon por permesi al nova ekipaĵo trairi kaj eniri la puran ĉambron, por malhelpi poluadon de la pura ĉambro proksime al la instalado. Protektaj mezuroj devas esti prenitaj por certigi, ke la pura ĉambro ankoraŭ plenumas siajn purecajn postulojn kaj la postan laboron necesan.
2. Se la laboro en la pura ĉambro ne povas esti haltigita dum ĉiu instala periodo, aŭ se estas strukturoj, kiujn necesas malmunti, la funkcianta pura ĉambro devas esti efike izolita de la laborareo: provizoraj izolaj muroj aŭ dispartigoj povas esti uzataj. Por ne malhelpi la instalan laboron, devas esti sufiĉe da spaco ĉirkaŭ la ekipaĵo. Se la kondiĉoj permesas, aliro al la izola areo povas esti tra servaj kanaloj aŭ aliaj ne-kritikaj areoj: se tio ne eblas, oni devas preni mezurojn por minimumigi la poluan efikon kaŭzitan de la instala laboro. La izola areo devas konservi egalan premon aŭ negativan premon. La provizo de pura aero devas esti fortranĉita en la nubskrapulo por eviti pozitivan premon sur la ĉirkaŭan pura ĉambron. Se aliro al la izola areo eblas nur tra apuda pura ĉambro, gluecaj kusenetoj devas esti uzataj por forigi malpuraĵon kunportitan de ŝuoj.
3. Post eniro en la alt-altecan areon, oni povas uzi unu-uzajn botojn aŭ ŝuojn kaj unu-pecajn laborvestojn por eviti poluadon de la pura ĉambro. Ĉi tiuj unu-uzaj aĵoj devas esti forigitaj antaŭ ol forlasi la kvarantenan areon. Oni devas disvolvi metodojn por monitori la areon ĉirkaŭ la izola areo dum la ekipaĵa instala procezo, kaj oni devas determini la oftecon de monitorado por certigi, ke ajna poluado, kiu povus liki en la apudan puran ĉambron, estas detektita. Post kiam la izolaj mezuroj estas starigitaj, oni povas starigi diversajn necesajn publikajn servajn instalaĵojn, kiel ekzemple elektro, akvo, gaso, vakuo, premaero kaj kloakakvaj tuboj. Oni devas atenti la kontrolon kaj izoladon de la fumo kaj rubo generitaj de la operacio kiel eble plej multe por eviti neintencitan disvastiĝon al la ĉirkaŭa pura ĉambro. Ĝi ankaŭ devas faciligi efikan purigadon antaŭ ol forigi la izolan barilon. Post kiam la publikaj servaj instalaĵoj plenumas la uzajn postulojn, la tuta izola areo devas esti purigita kaj senpoluigita laŭ la preskribitaj purigaj proceduroj. Ĉiuj surfacoj, inkluzive de ĉiuj muroj, ekipaĵo (fiksaj kaj moveblaj) kaj plankoj, devas esti polvosuĉitaj, viŝitaj kaj ŝvabritaj, kun speciala atento al la purigado de areoj malantaŭ ekipaĵaj ŝirmiloj kaj sub ekipaĵo.
4. Antaŭtesto pri la funkciado de la ekipaĵo povas esti farita surbaze de la faktaj kondiĉoj de la pura ĉambro kaj la instalita ekipaĵo, sed posta akceptotestado devus esti farita kiam la kondiĉoj de la pura medio estas plene plenumitaj. Depende de la kondiĉoj ĉe la instalejo, oni povas komenci zorge malmunti la izolan muron; se la provizo de pura aero estas malŝaltita, rekomencu ĝin; la tempo por ĉi tiu fazo de laboro devus esti zorge elektita por minimumigi interrompon kun la normala laboro de la pura ĉambro. Tiam, eble necesos mezuri ĉu la koncentriĝo de aeraj partikloj plenumas la specifitajn postulojn.
5. Purigado kaj preparado de la interno de la ekipaĵo kaj ŝlosilaj procezĉambroj devus esti efektivigitaj sub normalaj kondiĉoj de pura ĉambro. Ĉiuj internaj ĉambroj kaj ĉiuj surfacoj, kiuj kontaktas la produkton aŭ estas implikitaj en produktotransporto, devas esti viŝitaj ĝis la bezonata nivelo de pureco. La purigsekvenco de la ekipaĵo devus esti de supre malsupren. Se partikloj disvastiĝas, pli grandaj partikloj falos al la fundo de la ekipaĵo aŭ al la grundo pro gravito. Purigu la eksteran surfacon de la ekipaĵo de supre malsupren. Kiam necese, detekto de surfacaj partikloj devus esti efektivigita en areoj kie la postuloj de la produkto aŭ la produktadprocezo estas kritikaj.
6. Konsiderante la karakterizaĵojn de puraj ĉambroj, precipe la grandan areon, altan investon, altan rendimenton kaj tre striktajn purecajn postulojn de altteknologiaj puraj ĉambroj, la instalado de produktadaj ekipaĵoj en ĉi tiu tipo de puraj ĉambroj pli similas al tiu de ordinaraj puraj ĉambroj. Ne ekzistas specifaj postuloj. Por ĉi tiu celo, la nacia normo "Kodo por Konstruado kaj Kvalita Akcepto de Puraj Ĉambroj" faris kelkajn provizaĵojn por la instalado de produktadaj ekipaĵoj en puraj ĉambroj, ĉefe inkluzive de la jenaj.
A. Por eviti poluadon aŭ eĉ difekton de pura ĉambro (areo), kiu spertis "malplenan" akcepton dum la instalado de produktada ekipaĵo, la instalado de la ekipaĵo ne devas havi troan vibradon aŭ kliniĝon, kaj ne devas esti dividita kaj polui ekipaĵajn surfacojn.
B. Por ordigi la instaladon de produktadaj ekipaĵoj en pura ĉambro (areo) sen aŭ kun malpli da sidado, kaj por sekvi la sistemon de pura produktada mastrumado en pura ĉambro, oni certigu, ke la instalado de la produktadaj ekipaĵoj estas protektita laŭ la diversaj "finitaj produktoj" kaj "duonfinitaj produktoj" akceptitaj en "malplena stato". La materialoj, maŝinoj, ktp., kiuj devas esti uzataj en la instalado, ne devas elsendi aŭ produkti (inkluzive de normala funkciado de la pura ĉambro dum longa tempo) poluaĵojn, kiuj estas damaĝaj al la produktitaj produktoj. Oni devas uzi materialojn por pura ĉambro, kiuj estas senpolvaj, senrustaj, sengrasaj kaj ne produktas polvon dum uzado.
C. La ornama surfaco de la pura ĉambro (areo) estu protektita per paneloj, filmoj kaj aliaj materialoj de la pura ĉambro; la subtena plato de la ekipaĵo estu farita laŭ la postuloj de la projektado aŭ la teknika dokumento de la ekipaĵo. Se ne estas postuloj, oni uzu platojn el neoksidebla ŝtalo aŭ plasto. Karbonŝtalaj profiloj uzataj por sendependaj fundamentoj kaj plankaj plifortigoj estu traktataj per kontraŭkoroda materialo, kaj la surfaco estu plata kaj glata; elastaj sigelmaterialoj estu uzataj por kalfatrado.
D. Materialoj estu markitaj per ingrediencoj, variaĵoj, dato de fabrikado, valida periodo de stokado, instrukcioj pri la konstrumetodo kaj produktaj atestiloj. Maŝinoj kaj iloj uzataj en pura ĉambro (areoj) ne estu movataj al ne-puraj ĉambro (areoj) por uzo. Maŝinoj kaj iloj ne estu movataj al pura ĉambro (areo) por uzo. Maŝinoj kaj iloj uzataj en pura areo devas certigi, ke la eksponitaj partoj de la maŝino ne produktas polvon aŭ preni mezurojn por malhelpi polvon polui la medion. Ofte uzataj maŝinoj kaj iloj estu purigitaj en aerkluzo antaŭ ol esti movataj al pura areo kaj devas plenumi la postulojn esti sen oleo, sen malpuraĵo, sen polvo kaj sen rusto, kaj estu movataj post pasado de la inspektado kaj algluado de ŝildo "Pura" aŭ "Nur Pura Areo".
E. La ekipaĵo de la produktada procezo en pura ĉambro (areo) devas esti instalita sur "specifaj plankoj", kiel ekzemple ŝvelplankoj. La fundamento de la ekipaĵo ĝenerale devas esti metita sur la pli malaltan teknikan mezaninplankon aŭ sur la poran platon el cemento; la agadoj, kiuj devas esti malmuntitaj por instali la fundamenton, devas esti plifortigita. La strukturo de la planko post tranĉo per portebla elektra segilo devas esti plifortigita, kaj ĝia ŝarĝoportanta kapacito ne devas esti pli malalta ol la originala ŝarĝoportanta kapacito. Kiam oni uzas sendependan fundamenton de ŝtalframa strukturo, ĝi devas esti farita el galvanizita materialo aŭ rustorezista ŝtalo, kaj la eksponita surfaco devas esti plata kaj glata.
F. Kiam la instalado de produktada ekipaĵo en pura ĉambro (areo) postulas malfermi truojn en murpaneloj, ŝvebaj plafonoj kaj ŝvelplankoj, la borado ne devas dividi aŭ malpurigi la surfacojn de murpaneloj kaj ŝvebaj plafonpaneloj, kiujn oni devas konservi. Post la malfermo de la ŝveba planko, kiam la fundamento ne povas esti instalita ĝustatempe, oni devas instali sekurecajn barilojn kaj danĝerajn signojn; post la instalado de la produktada ekipaĵo, la interspaco ĉirkaŭ la truo devas esti sigelita, kaj la ekipaĵo kaj la sigelaj komponantoj devas esti en fleksebla kontakto, kaj la ligo inter la sigela komponanto kaj la murpanelo devas esti streĉa kaj firma; la sigela surfaco sur unu flanko de la laborejo devas esti plata kaj glata.
Afiŝtempo: 16-a de januaro 2024