Enkonduko
Pura ĉambro estas la bazo de polucia kontrolo. Sen pura ĉambro, polu-sentemaj partoj ne povas esti produktataj de amasoj. En Fed-STD-2, pura ĉambro estas difinita kiel ĉambro kun aera filtrado, distribuo, optimumigo, konstruaj materialoj kaj ekipaĵo, en kiuj specifaj regulaj operaciaj proceduroj estas uzataj por kontroli la koncentriĝon de aerumitaj partikloj por atingi la taŭgan partiklan purecon.
Por atingi bonan efikan purecon en pura ĉambro, necesas ne nur koncentriĝi pri prenado de raciaj klimatizaj purigaj mezuroj, sed ankaŭ postuli procezon, konstruadon kaj aliajn fakojn por preni respondajn mezurojn: ne nur akceptebla projektado, sed ankaŭ zorgema konstruado kaj instalado laŭ la specifaĵoj, same kiel ĝusta uzo de pura ĉambro kaj scienca bontenado kaj administrado. Por atingi bonan efikon en pura ĉambro, multaj hejmaj kaj eksterlandaj literaturoj estis elmontritaj el diversaj perspektivoj. Fakte, estas malfacile atingi idealan kunordigon inter diversaj fakoj, kaj estas malfacile por projektistoj kapti la kvaliton de konstruado kaj instalado same kiel la uzon kaj administradon, precipe ĉi -lastan. Koncerne purigajn purigajn mezurojn, multaj projektistoj, aŭ eĉ konstruaj partioj, ofte ne atentas sufiĉe al iliaj necesaj kondiĉoj, rezultigante nekontentigan purecon. Ĉi tiu artikolo nur mallonge diskutas la kvar necesajn kondiĉojn por atingi purecajn postulojn en purigaj purigaj mezuroj.
1. Aera Proviza Pureco
Por certigi, ke la aera proviza pureco plenumas la postulojn, la ŝlosilo estas la agado kaj instalado de la fina filtrilo de la puriga sistemo.
Filtrila elekto
La fina filtrilo de la puriga sistemo ĝenerale adoptas HEPA-filtrilon aŭ sub-HEPA-filtrilon. Laŭ la normoj de mia lando, la efikeco de HEPA -filtriloj estas dividita en kvar gradojn: Klaso A estas ≥99.9%, Klaso B estas ≥99.9%, Klaso C estas ≥99.999%, Klaso D estas (por eroj ≥0.1μm) ≥99.999 % (ankaŭ konata kiel ultra-Hepa-filtriloj); Sub-HEPA-filtriloj estas (por eroj ≥0.5μm) 95 ~ 99.9%. Ju pli alta estas la efikeco, des pli multekosta estas la filtrilo. Tial, kiam ni elektas filtrilon, ni devas ne nur plenumi la postulojn pri pureco de aero, sed ankaŭ konsideri ekonomian raciecon.
El la perspektivo de purecaj postuloj, la principo estas uzi malalt-efikajn filtrilojn por malaltnivelaj puraj ĉambroj kaj altfrekvencaj filtriloj por altnivelaj puraj ĉambroj. Ĝenerale parolante: Altaj kaj mez-efikaj filtriloj povas esti uzataj por la 1 miliono da nivelo; Sub-HEPA aŭ Klaso A HEPA-filtriloj povas esti uzataj por niveloj sub klaso 10.000; Filtriloj de Klaso B povas esti uzataj por klaso 10.000 ĝis 100; kaj Klaso C -filtriloj povas esti uzataj por niveloj 100 ĝis 1. Ŝajnas, ke estas du specoj de filtriloj por elekti por ĉiu pureco. Ĉu elekti altfrekvencajn aŭ malalt-efikajn filtrilojn dependas de la specifa situacio: kiam la media poluado estas serioza, aŭ la ena ellasilo estas granda, aŭ la pura ĉambro estas aparte grava kaj postulas pli grandan sekurecan faktoron, en ĉi tiuj aŭ unu El ĉi tiuj kazoj, altklasa filtrilo devas esti elektita; Alie, elektebla filtrilo estas elektita. Por puraj ĉambroj, kiuj postulas kontrolon de 0,1μm -eroj, klasaj D -filtriloj devas esti elektitaj sendepende de la kontrolita partikla koncentriĝo. La supra estas nur el la perspektivo de la filtrilo. Fakte, por elekti bonan filtrilon, vi ankaŭ devas plene konsideri la karakterizaĵojn de la pura ĉambro, la filtrilo kaj la puriga sistemo.
Filtrila instalado
Por certigi la purecon de la aera provizo, ne sufiĉas havi nur kvalifikitajn filtrilojn, sed ankaŭ certigi: a. La filtrilo ne damaĝas dum transportado kaj instalado; b. La instalado estas streĉa. Por atingi la unuan punkton, la konstrua kaj instalada personaro devas esti bone trejnita, kun ambaŭ scioj pri instalado de purigaj sistemoj kaj lertaj instalaĵoj. Alie, estos malfacile certigi, ke la filtrilo ne difektiĝas. Estas profundaj lecionoj tiurilate. Due, la problemo pri instalado de la instalaĵo plejparte dependas de la kvalito de la instala strukturo. La manlibro pri dezajno ĝenerale rekomendas: Por ununura filtrilo, malferma tipo-instalado estas uzata, tiel ke eĉ se filtrado okazas, ĝi ne filtros en la ĉambron; Uzante finitan HEPA -aeran elirejon, streĉeco ankaŭ pli facile certigas. Por la aero de multoblaj filtriloj, ĝel -sigelo kaj negativa prema sigelado ofte estas uzataj en la lastaj jaroj.
Gel -sigelo devas certigi, ke la likva tanko -artiko estas streĉa kaj la entuta kadro estas sur la sama horizontala ebeno. Negativa premo -sigelado estas fari la eksteran periferion de la artiko inter la filtrilo kaj la statika prema skatolo kaj la kadro en negativa prema stato. Kiel la malferma tipo-instalado, eĉ se estas filtrado, ĝi ne filtros en la ĉambron. Fakte, kondiĉe ke la instalada kadro estas plata kaj la filtrila vizaĝo estas en unuforma kontakto kun la instalada kadro, ĝi devas esti facile fari la filtrilon plenumi la instalajn streĉajn postulojn en iu ajn instalada tipo.
2. Aerfluo -Organizo
La aerfluo-organizo de pura ĉambro diferencas de tiu de ĝenerala klimatizita ĉambro. Ĝi postulas unue, ke la plej pura aero estu liverita al la operacia areo. Ĝia funkcio estas limigi kaj redukti la poluadon al la prilaboritaj objektoj. Tiucele, la jenaj principoj devas esti pripensitaj dum projektado de la aerfluo -organizo: minimumigi eddy -fluojn por eviti alporti poluadon de ekster la laborejo en la laborejon; Provu malhelpi flugadon de sekundara polvo por redukti la eblecon de polvo poluanta la pecon; La aerfluo en la laborejo devas esti kiel eble plej uniforma, kaj ĝia vento rapido devas plenumi la procezon kaj higienajn postulojn. Kiam la aerfluo fluas al la reveno de la aero, la polvo en la aero devas esti efike forprenita. Elektu malsamajn aerajn liveraĵojn kaj revenajn reĝimojn laŭ malsamaj purecaj postuloj.
Malsamaj aerfluaj organizoj havas siajn proprajn karakterizaĵojn kaj ampleksojn:
(1). Vertikala unidirekcia fluo
Krom la komunaj avantaĝoj akiri uniforman malsuprenirantan aerfluon, faciligi la aranĝon de procezaj ekipaĵoj, forta mem-puriga kapablo kaj simpligi komunajn instalaĵojn kiel personaj purigaj instalaĵoj, la kvar aerprovizaj metodoj ankaŭ havas siajn proprajn avantaĝojn kaj malavantaĝojn: plenaj- Kovritaj HEPA -filtriloj havas la avantaĝojn de malalta rezisto kaj longa filtrila anstataŭa ciklo, sed la plafono -strukturo estas kompleksa kaj la kosto estas alta; La avantaĝoj kaj malavantaĝoj de flank-kovrita HEPA-filtrila supro-liverado kaj plen-trua plato-supra liverado estas kontraŭaj al tiuj de plen-kovrita HEPA-filtrila supro-liverado. Inter ili, la plen-trua plato-supra liverado estas facile akumuli polvon sur la interna surfaco de la orificia plato kiam la sistemo ne kontinue funkcias, kaj malbona bontenado havas iom da efiko sur la pureco; Densa difuzilo supra liverado postulas miksan tavolon, do ĝi taŭgas nur por altaj puraj ĉambroj super 4m, kaj ĝiaj trajtoj similas al plen-trua plato-supro-liverado; La reveno -aera metodo por la plato kun kradoj ambaŭflanke kaj la revenaj aeraj elirejoj egale aranĝitaj ĉe la fundo de la kontraŭaj muroj taŭgas nur por puraj ĉambroj kun neta interspaco de malpli ol 6m ambaŭflanke; La revenaj aeraj elirejoj aranĝitaj ĉe la fundo de la unuflanka muro taŭgas nur por puraj ĉambroj kun malgranda distanco inter la muroj (kiel ≤ <2 ~ 3m).
(2). Horizontala unidirekcia fluo
Nur la unua laborejo povas atingi la purecan nivelon de 100. Kiam la aero fluas al la alia flanko, la polvo -koncentriĝo iom post iom pliiĝas. Tial ĝi taŭgas nur por puraj ĉambroj kun malsamaj purecaj postuloj por la sama procezo en la sama ĉambro. La loka distribuo de HEPA -filtriloj sur la aera proviza muro povas redukti la uzon de HEPA -filtriloj kaj ŝpari komencan investon, sed estas eddoj en lokaj regionoj.
(3). Turba aerfluo
La trajtoj de supera liverado de orificaj platoj kaj supra liverado de densaj disvastigiloj estas la samaj kiel tiuj menciitaj supre: la avantaĝoj de flanka liverado estas facile aranĝi duktojn, neniu teknika interplekto estas bezonata, malalta kosto, kaj kondukanta al la renovigo de malnovaj fabrikoj . La malavantaĝoj estas, ke la vento rapido en la labora areo estas granda, kaj la polvo -koncentriĝo sur la malsupreniranta flanko estas pli alta ol tiu sur la supra flanko; La plej alta liverado de HEPA -filtrilaj ellasejoj havas la avantaĝojn de simpla sistemo, neniuj duktoj malantaŭ la HEPA -filtrilo, kaj pura fluo de aero rekte liverita al la laborejo, sed la pura fluo de aero disvastiĝas malrapide kaj la fluo de aero en la laborejo estas pli unuforma; Tamen, kiam multnombraj aeraj ellasejoj estas egale aranĝitaj aŭ HEPA -filtrilaj aeraj ellasejoj kun disvastigiloj estas uzataj, la aerfluo en la labora areo ankaŭ povas fariĝi pli uniforma; Sed kiam la sistemo ne funkcias kontinue, la disvastigilo estas inklina al akumulado de polvo.
La supra diskuto estas ĉio en ideala stato kaj estas rekomendita de koncernaj naciaj specifaĵoj, normoj aŭ projektaj manlibroj. En realaj projektoj, la organizo de aerfluo ne estas bone desegnita pro objektivaj kondiĉoj aŭ subjektivaj kialoj de la projektisto. Komunaj inkluzivas: Vertikala unidirekcia fluo adoptas revenan aeron de la malsupra parto de la apudaj du muroj, loka klaso 100 adoptas supran liveradon kaj supran revenon (tio estas, neniu pendanta kurteno estas aldonita sub la loka aera elirejo), kaj turbulaj puraj ĉambroj adoptas HEPA-filtrila aera elira supro-liverado kaj supra reveno aŭ unuflanka pli malalta reveno (pli granda interspaco inter muroj), ktp la projektaj postuloj. Pro la aktualaj specifoj por malplena aŭ statika akcepto, iuj el ĉi tiuj puraj ĉambroj apenaŭ atingas la projektitan purecan nivelon en malplenaj aŭ statikaj kondiĉoj, sed la kontraŭpolucia interfero-kapablo estas tre malalta, kaj post kiam la pura ĉambro eniras la laboran staton, ĝi ne plenumas la postulojn.
La ĝusta aerfluo -organizo devas esti agordita kun kurtenoj pendantaj ĝis la alteco de la laborejo en loka ĉirkaŭaĵo, kaj la klaso 100.000 ne devas adopti supran liveradon kaj supran revenon. Krome, plej multaj fabrikoj nuntempe produktas alt-efikajn aerajn ellasejojn kun disvastigiloj, kaj iliaj disvastigiloj estas nur ornamaj orificaj platoj kaj ne ludas la rolon de disvastiga fluo de aero. Diseñistoj kaj uzantoj devas prunti specialan atenton pri ĉi tio.
3. Aera Proviza Volumo aŭ Aera Rapideco
Sufiĉa ventoluma volumo estas dilui kaj forigi endoman poluitan aeron. Laŭ malsamaj postuloj de pureco, kiam la neta alteco de la pura ĉambro estas alta, la ventofrekvenco devas esti taŭge pliigita. Inter ili, la ventoluma volumo de la 1 milion-nivela pura ĉambro estas konsiderata laŭ la alt-efika puriga sistemo, kaj la resto estas konsiderata laŭ la alta efika puriga sistemo; Kiam la HEPA-filtriloj de la Klaso 100.000 pura ĉambro estas koncentritaj en la maŝinĉambro aŭ la sub-HEPA-filtriloj estas uzataj ĉe la fino de la sistemo, la ventofrekvenco povas esti taŭge pliigita je 10-20%.
Por ĉi -supraj ventolaj volumoj rekomenditaj valoroj, la aŭtoro opinias, ke: la vento rapido tra la ĉambra sekcio de la unidirekcia fluo pura ĉambro estas malalta, kaj la turba pura ĉambro havas rekomenditan valoron kun sufiĉa sekureca faktoro. Vertikala unidirekcia fluo ≥ 0,25m/s, horizontala unidirekcia fluo ≥ 0,35m/s. Kvankam la purecaj postuloj povas esti plenumitaj kiam testitaj en malplenaj aŭ statikaj kondiĉoj, la kontraŭ-poluada kapablo estas malriĉa. Post kiam la ĉambro eniras la laboran staton, la pureco eble ne plenumas la postulojn. Ĉi tiu tipo de ekzemplo ne estas izolita kazo. Samtempe, ne ekzistas fanoj taŭgaj por purigaj sistemoj en la ventolilo de mia lando. Ĝenerale, projektistoj ofte ne faras precizajn kalkulojn de la aera rezisto de la sistemo, aŭ ne rimarkas, ĉu la elektita ventumilo estas pli favora laborpunkto pri la karakteriza kurbo, rezultigante la aeran volumon aŭ ventrapidecon malsukcesante atingi la projektan valoron baldaŭ Post kiam la sistemo funkcias. La usona federacia normo (FS209A ~ B) kondiĉis, ke la aerfluo de fluo de unidirekcia pura ĉambro tra la kruca sekcio de pura ĉambro estas kutime konservita je 90ft/min (0,45m/s), kaj la rapideca neformeco estas ene de ± 20% sub la kondiĉo de neniu enmiksiĝo en la tuta ĉambro. Ĉiu signifa malkresko de aerfluo-rapideco pliigos la eblecon de mem-purigado de tempo kaj poluado inter laborantaj pozicioj (post la promulgado de FS209C en oktobro 1987, neniuj regularoj estis faritaj por ĉiuj parametraj indikiloj krom polvo-koncentriĝo).
Por tio, la aŭtoro opinias, ke taŭgas pli taŭge pliigi la nunan enlandan projektan valoron de unidirekcia fluo -rapideco. Nia unuo faris tion en realaj projektoj, kaj la efiko estas relative bona. Turbulenta pura ĉambro havas rekomenditan valoron kun relative sufiĉa sekureca faktoro, sed multaj projektistoj ankoraŭ ne certigas. Kiam ili faras specifajn projektojn, ili pliigas la ventan volumon de la klaso 100.000 pura ĉambro al 20-25 fojojn/h, Klaso 10.000 pura ĉambro ĝis 30-40 fojojn/h, kaj Klaso 1000 pura ĉambro ĝis 60-70 fojojn/h. Ĉi tio ne nur pliigas la ekipaĵan kapablon kaj komencan investon, sed ankaŭ pliigas estontajn prizorgajn kaj administradajn kostojn. Fakte ne necesas fari tion. Kiam kompilante la aerajn purigajn teknikajn mezurojn de mia lando, pli ol klasa 100 pura ĉambro en Ĉinio estis esplorita kaj mezurita. Multaj puraj ĉambroj estis testitaj en dinamikaj kondiĉoj. La rezultoj montris, ke ventolaj volumoj de klasoj 100.000 puraj ĉambroj ≥10 fojojn/h, klasaj 10.000 puraj ĉambroj ≥20 fojojn/h, kaj Klaso 1000 puraj ĉambroj ≥50 fojojn/h povas plenumi la postulojn. La usona federacia normo (FS2O9A ~ b) Stipulas: nedirektaj puraj ĉambroj (Klaso 100.000, Klaso 10.000), ĉambra alteco 8 ~ 12ft (2.44 ~ 3.66m), kutime konsideras la tutan ĉambron esti ventolita almenaŭ unufoje ĉiun 3 minutojn (t.e. 20 fojojn/h). Tial la projektado -specifo enkalkulis grandan troan koeficienton, kaj la projektisto povas sekure elekti laŭ la rekomendinda valoro de ventoluma volumo.
4. Statika prema diferenco
Subteni certan pozitivan premon en pura ĉambro estas unu el la esencaj kondiĉoj por certigi, ke la pura ĉambro ne estas aŭ malpli poluita por konservi la projektitan nivelon de pureco. Eĉ por negativaj premaj puraj ĉambroj, ĝi devas havi apudajn ĉambrojn aŭ apartamentojn kun pureco -nivelo ne malpli ol ĝia nivelo por konservi certan pozitivan premon, tiel ke la pureco de la negativa premo pura ĉambro povas konserviĝi.
La pozitiva prema valoro de la pura ĉambro rilatas al la valoro kiam la ena statika premo estas pli granda ol la subĉiela statika premo kiam ĉiuj pordoj kaj fenestroj estas fermitaj. Ĝi atingas la metodon, ke la aera proviza volumo de la puriga sistemo estas pli granda ol la revena aera volumo kaj ellasa aera volumo. Por certigi la pozitivan preman valoron de la pura ĉambro, la fanoj de provizo, reveno kaj elĉerpiĝo estas prefere interplektitaj. Kiam la sistemo estas ŝaltita, la provizo -fervorulo estas komencita unue, kaj tiam la reveno kaj elĉerpaj fanoj estas komencitaj; Kiam la sistemo estas malŝaltita, la ellasilo estas malŝaltita unue, kaj tiam la reveno kaj provizado de fanoj estas malŝaltitaj por malebligi la puran ĉambron poluiĝi kiam la sistemo estas ŝaltita kaj malŝaltita.
La aera volumo bezonata por konservi la pozitivan premon de la pura ĉambro estas ĉefe determinita de la hermeco de la prizorgstrukturo. En la fruaj tagoj de pura ĉambra konstruado en mia lando, pro la malriĉa hermeco de la ĉirkaŭa strukturo, ĝi prenis 2 ĝis 6 fojojn/h da aera provizo por konservi pozitivan premon de ≥5PA; Nuntempe la hermeco de la prizorgstrukturo multe pliboniĝis, kaj nur 1 ĝis 2 fojojn/h da aera provizo estas bezonata por konservi la saman pozitivan premon; kaj nur 2 ĝis 3 fojojn/h da aera provizo estas bezonata por konservi ≥10PA.
La projektaj specifoj de mia lando [6] kondiĉas, ke la statika prema diferenco inter puraj ĉambroj de diversaj gradoj kaj inter puraj areoj kaj ne-puraj areoj devas esti ne malpli ol 0,5mm H2O (~ 5PA), kaj la statika prema diferenco inter la pura areo kaj la eksterdomo devas esti ne malpli ol 1,0mm H2O (~ 10PA). La aŭtoro kredas, ke ĉi tiu valoro ŝajnas esti tro malalta pro tri kialoj:
(1) Pozitiva premo rilatas al la kapablo de pura ĉambro subpremi endoman aeran poluadon tra la interspacoj inter pordoj kaj fenestroj, aŭ minimumigi la poluantojn, kiuj penetras en la ĉambron kiam la pordoj kaj fenestroj malfermiĝas por mallonga tempo. La grandeco de la pozitiva premo indikas la forton de la polucia foriga kapablo. Kompreneble, ju pli granda estas la pozitiva premo, des pli bone (pri kiu oni diskutos poste).
(2) La aera volumo bezonata por pozitiva premo estas limigita. La aera volumo bezonata por 5PA pozitiva premo kaj 10PA pozitiva premo estas nur ĉirkaŭ 1 tempo/h malsama. Kial ne fari ĝin? Evidente estas pli bone preni la pli malaltan limon de pozitiva premo kiel 10PA.
(3) La usona federacia normo (FS209A ~ b) kondiĉas, ke kiam ĉiuj eniroj kaj eliroj estas fermitaj, la minimuma pozitiva prema diferenco inter la pura ĉambro kaj iu apuda malalta pureco estas 0,05 coloj da akva kolumno (12.5PA). Ĉi tiu valoro estis adoptita de multaj landoj. Sed la pozitiva prema valoro de la pura ĉambro ne estas pli alta des pli bone. Laŭ la efektivaj inĝenieristikaj provoj de nia unuo dum pli ol 30 jaroj, kiam la pozitiva prema valoro estas ≥ 30PA, estas malfacile malfermi la pordon. Se vi fermas la pordon senzorge, ĝi faros eksplodon! Ĝi timigos homojn. Kiam la pozitiva prema valoro estas ≥ 50 ~ 70PA, la interspacoj inter pordoj kaj fenestroj faros fajfilon, kaj la malfortuloj aŭ tiuj kun iuj netaŭgaj simptomoj sentos sin malkomfortaj. Tamen la koncernaj specifaĵoj aŭ normoj de multaj landoj hejme kaj eksterlande ne specifas la superan limon de pozitiva premo. Rezulte, multaj unuoj nur celas plenumi la postulojn de la malsupra limo, sendepende de kiom estas la supra limo. En la efektiva pura ĉambro renkontita de la aŭtoro, la pozitiva prema valoro estas tiel alta kiel 100PA aŭ pli, rezultigante tre malbonajn efikojn. Fakte, ĝustigi la pozitivan premon ne estas malfacila afero. Estas tute eble regi ĝin ene de certa gamo. Estis dokumento enkondukanta, ke certa lando en Orienta Eŭropo kondiĉas la pozitivan preman valoron kiel 1-3mm H20 (ĉirkaŭ 10 ~ 30Pa). La aŭtoro kredas, ke ĉi tiu gamo pli taŭgas.
Afiŝotempo: Feb-13-2025