Fajroprotektaj instalaĵoj estas grava parto de pura ĉambro. Ĝia graveco ne nur devenas de la multekostaj procezoj de la pura ĉambro, sed ankaŭ de la fakto, ke puraj ĉambroj estas relative fermitaj konstruaĵoj, kaj kelkaj estas eĉ senfenestraj laborejoj. La koridoroj de la pura ĉambro estas mallarĝaj kaj kurbaj, malfaciligante la evakuadon de personaro kaj la instruadon pri fajro. Por certigi la sekurecon de la vivoj kaj posedaĵoj de homoj, la fajroprotekta politiko "preventado unue, kombinante preventadon kaj fajron" devus esti efektivigita en la projektado. Aldone al efikaj fajropreventaj mezuroj en la projektado de la pura ĉambro, necesaj fajroestingaj instalaĵoj ankaŭ estas starigitaj. La produktadaj karakterizaĵoj de puraj ĉambroj estas:
(1) Ekzistas multaj precizaj ekipaĵoj kaj instrumentoj, kaj diversaj brulemaj, eksplodemaj, korodaj kaj toksaj gasoj kaj likvaĵoj estas uzataj. La fajrodanĝero de iuj produktadpartoj apartenas al Kategorio C (kiel oksidiga difuzo, fotolitografio, jona implantado, presado kaj pakado, ktp.), kaj iuj apartenas al Kategorio A (kiel unukristala tirado, epitaksio, kemia vapora deponado, ktp.).
(2) La pura ĉambro estas tre hermetika. Post kiam fajro ekflamas, estos malfacile evakui la personaron kaj estingi la fajron.
(3) La konstrukosto de pura ĉambro estas alta kaj la ekipaĵo kaj instrumentoj estas multekostaj. Post kiam incendio ekflamas, la ekonomiaj perdoj estos grandegaj.
Surbaze de la supre menciitaj karakterizaĵoj, puraj ĉambroj havas tre altajn postulojn pri fajroprotekto. Aldone al la fajroprotekta kaj akvoproviza sistemo, fiksaj fajroestingiloj ankaŭ devus esti instalitaj, precipe valoraj ekipaĵoj kaj instrumentoj en puraj ĉambroj devas esti zorge determinitaj.
Afiŝtempo: 11-a de aprilo 2024