La ĉifona rendimenta indico en la IC -fabrikada industrio estas proksime rilata al la grandeco kaj nombro de aeraj eroj deponitaj sur la blato. Bona aerfluo -organizo povas forpreni la erojn generitajn de la polva fonto for de la pura ĉambro por certigi la purecon de la pura ĉambro, tio estas, ke la aerfluo -organizo en pura ĉambro ludas esencan rolon en la rendimento de IC -produktado. La dezajno de la aerfluo -organizo en pura ĉambro bezonas atingi la jenajn celojn: redukti aŭ forigi la eddy -kurenton en la flua kampo por eviti la retenadon de malutilaj eroj; Konservu taŭgan pozitivan preman gradienton por malebligi krucan poluadon.
Aerfluo
Laŭ la principo pri pura ĉambro, la fortoj agantaj sur la eroj inkluzivas masan forton, molekulan forton, altiron inter eroj, aerfluo, ktp.
Aerfluo -Forto: rilatas al la forto de la aerfluo kaŭzita de la liverado, reveno de fluo de aero, termika konvekcia aerfluo, artefarita agitado kaj aliaj fluoj de aero kun certa fluo por porti la erojn. Por la teknika kontrolo de pura ĉambra medio, aerfluo estas la plej grava faktoro.
Eksperimentoj montris, ke en aerfluo -movado, la eroj sekvas la aerfluan movadon je preskaŭ la sama rapideco. La stato de la eroj en la aero estas determinita per la distribuo de aerfluo. La aerfluoj, kiuj influas endomajn erojn, inkluzivas ĉefe: aerfluon de aero (inkluzive de primara fluo de aero kaj malĉefa fluo de aero), fluo de aero kaj termika konvekcio kaŭzita de homoj marŝantaj, kaj la fluon de aero kaŭzita de proceza operacio kaj industria ekipaĵo. Malsamaj aerprovizaj metodoj, rapidaj interfacoj, telefonistoj kaj industriaj ekipaĵoj, kaj induktitaj fenomenoj en puraj ĉambroj estas ĉiuj faktoroj influantaj la purecan nivelon.
Faktoroj influantaj aerfluan organizon
1. La influo de aera proviza metodo
(1). Aera Proviza Rapido
Por certigi unuforman aerfluon, la aera provizado devas esti uniforma en unidirekcia pura ĉambro; La morta zono de la aera proviza surfaco devas esti malgranda; kaj la prema falo en la ULPA ankaŭ devas esti unuforma.
Uniforma aerproviza rapideco: Tio estas, la malegaleco de la aerfluo estas kontrolita ene de ± 20%.
Malpli morta zono sur la aera proviza surfaco: Ne nur la ebena areo de la ULPA -kadro devas esti reduktita, sed pli grave, modula FFU devas esti adoptita por simpligi la redundan kadron.
Por certigi vertikalan unidirektan aerfluon, la selektado de premo de la filtrilo ankaŭ estas tre grava, postulante, ke la prema perdo en la filtrilo ne povas devii.
(2). Komparo inter FFU -sistemo kaj Axial Flow Fan -sistemo
FFU estas aera provizo -unuo kun ventumilo kaj filtrilo (ULPA). Post kiam la aero estas suĉita de la centrifuga ventumilo de FFU, la dinamika premo estas transformita al statika premo en aera dukto kaj eksplodigita de ULPA. La aera proviza premo sur la plafono estas negativa premo, tiel ke neniu polvo filtros en la puran ĉambron kiam la filtrilo estas anstataŭigita. Eksperimentoj montris, ke la FFU -sistemo estas supera al la aksa fluo -ventolsistemo koncerne aeran elirejan uniformecon, aerfluan paralelismon kaj indeksan efikecon de ventolado. Ĉi tio estas ĉar la aerfluo -paralelismo de la FFU -sistemo estas pli bona. La uzo de la FFU -sistemo povas fari la aerfluon en la pura ĉambro pli bone organizita.
(3). La influo de la propra strukturo de FFU
FFU estas ĉefe kunmetita de fanoj, filtriloj, aerfluaj gvidiloj kaj aliaj komponentoj. La ultra-alta efikeco-filtrilo ULPA estas la plej grava garantio por ĉu la pura ĉambro povas atingi la bezonatan purecon de la dezajno. La materialo de la filtrilo ankaŭ influos la unuformecon de la flua kampo. Kiam kruda filtrila materialo aŭ lamina fluo -plato estas aldonita al la filtrila elirejo, la elireja fluo -kampo facile povas esti unuforma.
2. Efiko de Malsamaj Rapidaj Interfacoj de Pureco
En la sama pura ĉambro, inter la labora areo kaj ne laboranta areo de vertikala unidirekcia fluo, pro la diferenco de aera rapideco ĉe la ULPA-elirejo, miksita vorta efiko estos generita ĉe la interfaco, kaj ĉi tiu interfaco fariĝos turbulenta Aera fluo -zono kun precipe alta aera turbuleca intenseco. Partikloj povas esti transdonitaj al la surfaco de la ekipaĵo kaj polui la ekipaĵon kaj vafojn.
3. Efiko de personaro kaj ekipaĵo
Kiam la pura ĉambro estas malplena, la aerfluaj trajtoj en la ĉambro ĝenerale plenumas la projektajn postulojn. Post kiam la ekipaĵo eniras la puran ĉambron, la dungitaro moviĝas kaj produktoj estas transdonitaj, neeviteble estos obstakloj por la organizo de aerfluo. Ekzemple, ĉe la elstarantaj anguloj aŭ randoj de la ekipaĵo, la gaso estos deturnita por formi turbulan zonon, kaj la fluido en la zono ne facile forportas la gason, kaŭzante poluadon. Samtempe, la surfaco de la ekipaĵo varmiĝos pro kontinua funkciado, kaj la temperatura gradiento kaŭzos refluan zonon proksime al la maŝino, kiu pliigos la amasiĝon de eroj en la refluo. Samtempe la alta temperaturo facile kaŭzos la erojn de la eroj. La duobla efiko pligravigas la malfacilecon kontroli la ĝeneralan vertikalan laminan purecon. La polvo de la telefonistoj en la pura ĉambro estas tre facile aliĝi al la vafoj en ĉi tiuj refluaj zonoj.
4. Influo de revena aera etaĝo
Kiam la rezisto de revena aero pasanta tra la planko estas malsama, oni generiĝos prema diferenco, tiel ke la aero fluos direkte al malpli da rezisto, kaj uniforma aerfluo ne estos akirita. La nuna populara desegna metodo estas uzi levitajn etaĝojn. Kiam la malferma indico de levitaj plankoj estas 10%, la aerfluo rapideco en la funkcia alteco de la ĉambro povas esti distribuita egale. Krome, strikta atento devas esti purigata por redukti la poluan fonton de la planko.
5. Indukta fenomeno
La tiel nomata indukta fenomeno rilatas al la fenomeno, ke la aerfluo en la kontraŭa direkto de la uniforma fluo estas generita, kaj la polvo generita en la ĉambro aŭ la polvo en la apuda poluita areo estas induktita al la supra flanko, tiel ke la polvo povas polui la blaton. Jen la eblaj induktaj fenomenoj:
(1). Blinda telero
En pura ĉambro kun vertikala unidirekcia fluo, pro la artikoj sur la muro, estas ĝenerale grandaj blindaj platoj, kiuj generos turbulecon en la loka revenfluo.
(2). Lampoj
La lumaj aparatoj en la pura ĉambro havos pli grandan efikon. Ĉar la varmego de fluoreskaj lampoj kaŭzas la fluon de la aero, ne estos turbulaj areoj sub la fluoreskaj lampoj. Ĝenerale, la lampoj en la pura ĉambro estas desegnitaj en larmoforma formo por redukti la efikon de la lampoj sur la organizo de fluo de aero.
(3.) interspacoj inter muroj
Kiam estas mankoj inter subdiskoj kun malsamaj purecaj niveloj aŭ inter subdiskoj kaj plafonoj, polvo el la areo kun malaltaj purecaj postuloj povas esti translokigita al la apuda areo kun altaj postuloj de pureco.
(4). Distanco inter la maŝino kaj la planko aŭ muro
Se la interspaco inter la maŝino kaj la planko aŭ muro estas tre malgranda, ĝi kaŭzos resaltan turbulecon. Sekve, lasu interspacon inter la ekipaĵo kaj la muro kaj levu la maŝinon por eviti lasi la maŝinon tuŝi la teron rekte.
Afiŝotempo: Feb-05-2025