La rendimento de ĉipoj en la fabrikado de integraj cirkvitoj estas proksime rilata al la grandeco kaj nombro de aerpartikloj deponitaj sur la ĉipo. Bona aerflua organizado povas forigi la partiklojn generitajn de la polvofonto de la pura ĉambro por certigi la purecon de la pura ĉambro, tio estas, la aerflua organizado en la pura ĉambro ludas esencan rolon en la rendimento de integraj cirkvitoj. La dezajno de la aerflua organizado en la pura ĉambro devas atingi la jenajn celojn: redukti aŭ elimini la kirlofluon en la fluokampo por eviti la retenon de damaĝaj partikloj; konservi taŭgan pozitivan premgradienton por malhelpi krucpoluadon.
Aerfluoforto
Laŭ la principo de pura ĉambro, la fortoj agantaj sur la partiklojn inkluzivas masan forton, molekulan forton, altiron inter partikloj, aerfluon, ktp.
Aerfluoforto: rilatas al la forto de la aerfluo kaŭzita de la livero, revena aerfluo, termika konvekta aerfluo, artefarita kirlado kaj aliaj aerfluoj kun certa flukvanto por transporti la partiklojn. Por la teknika kontrolo de puraĉambra medio, aerfluoforto estas la plej grava faktoro.
Eksperimentoj montris, ke en aerfluo, la partikloj sekvas la aerfluon preskaŭ samrapide. La stato de la partikloj en la aero estas determinita de la aerfluodistribuo. La aerfluoj, kiuj influas endomajn partiklojn, ĉefe inkluzivas: aerprovizan aerfluon (inkluzive de primara aerfluo kaj sekundara aerfluo), aerfluon kaj termikan konvekcian aerfluon kaŭzitan de promenado de homoj, kaj la aerfluon kaŭzitan de procezoperacio kaj industria ekipaĵo. Malsamaj aerprovizaj metodoj, rapidaj interfacoj, funkciigistoj kaj industria ekipaĵo, kaj induktitaj fenomenoj en puraj ĉambroj estas ĉiuj faktoroj, kiuj influas la purecnivelon.
Faktoroj influantaj aerfluon-organizon
1. La influo de la metodo de aerprovizado
(1). Rapido de aerprovizo
Por certigi unuforman aerfluon, la aerlivera rapideco devas esti uniforma en unudirekta pura ĉambro; la morta zono de la aerlivera surfaco devas esti malgranda; kaj la premfalo en la ULPA ankaŭ devas esti uniforma.
Unuforma aerproviza rapido: tio estas, la malebenaĵo de la aerfluo estas kontrolata ene de ±20%.
Malpli da morta zono sur la aerproviza surfaco: ne nur la ebena areo de la ULPA-kadro devus esti reduktita, sed pli grave, modula FFU devus esti adoptita por simpligi la redundan kadron.
Por certigi vertikalan unudirektan aerfluon, la elekto de premfalo de la filtrilo ankaŭ estas tre grava, postulante ke la premperdo en la filtrilo ne povu devii.
(2). Komparo inter FFU-sistemo kaj aksa flua ventumilsistemo
FFU estas aerproviza unuo kun ventumilo kaj filtrilo (ULPA). Post kiam la aero estas ensorbita de la centrifuga ventumilo de FFU, la dinamika premo estas konvertita al statika premo en la aerdukto kaj blovita egale per ULPA. La aerproviza premo sur la plafono estas negativa premo, tiel ke neniu polvo likos en la puran ĉambron kiam la filtrilo estas anstataŭigita. Eksperimentoj montris, ke la FFU-sistemo estas supera al la aksa flua ventumilo-sistemo rilate al aerelira homogeneco, aerflua paraleleco kaj ventolada efikeca indekso. Ĉi tio estas ĉar la aerflua paraleleco de la FFU-sistemo estas pli bona. La uzo de la FFU-sistemo povas plibonigi la aerfluon en la pura ĉambro.
(3). La influo de la propra strukturo de FFU
FFU konsistas ĉefe el ventoliloj, filtriloj, aerfluaj gvidiloj kaj aliaj komponantoj. La ultra-alta-efikeca filtrilo ULPA estas la plej grava garantio por ĉu la pura ĉambro povas atingi la bezonatan purecon laŭ la dezajno. La materialo de la filtrilo ankaŭ influos la homogenecon de la fluokampo. Kiam kruda filtrilmaterialo aŭ lamena fluoplato estas aldonita al la filtrila elirejo, la elireja fluokampo povas esti facile unuforma.
2. Efiko de malsamaj rapidaj interfacoj de pureco
En la sama pura ĉambro, inter la laborareo kaj la nelaborareo de vertikala unudirekta fluo, pro la diferenco en aerrapideco ĉe la ULPA-elirejo, miksita vortica efiko estos generita ĉe la interfaco, kaj ĉi tiu interfaco fariĝos turbula aerflua zono kun aparte alta aerturbuleca intenseco. Partikloj povas esti transdonitaj al la surfaco de la ekipaĵo kaj polui la ekipaĵon kaj oblatojn.
3. Efiko de dungitaro kaj ekipaĵo
Kiam la pura ĉambro estas malplena, la aerfluaj karakterizaĵoj en la ĉambro ĝenerale plenumas la dezajnajn postulojn. Post kiam la ekipaĵo eniras la puran ĉambron, la personaro moviĝas kaj la produktoj estas transportataj, neeviteble estos obstakloj al la organizado de la aerfluo. Ekzemple, ĉe la elstarantaj anguloj aŭ randoj de la ekipaĵo, la gaso estos deturnita por formi turbulan zonon, kaj la fluido en la zono ne estas facile forportata de la gaso, tiel kaŭzante poluadon. Samtempe, la surfaco de la ekipaĵo varmiĝos pro kontinua funkciado, kaj la temperaturgradiento kaŭzos refluan zonon proksime al la maŝino, kio pliigos la amasiĝon de partikloj en la reflua zono. Samtempe, la alta temperaturo facile kaŭzos la eskapon de la partikloj. La duobla efiko plimalfaciligas kontroli la ĝeneralan vertikalan lamenan purecon. La polvo de la funkciigistoj en la pura ĉambro tre facile algluiĝas al la platoj en ĉi tiuj refluaj zonoj.
4. Influo de reveninta aero sur la planko
Kiam la rezisto de revena aero trapasanta la plankon estas malsama, prema diferenco generiĝos, tiel ke la aero fluos en la direkto de malpli da rezisto, kaj unuforma aerfluo ne estos atingita. La nuna populara projekta metodo estas uzi levitajn plankojn. Kiam la malfermo-rapideco de levitaj plankoj estas 10%, la aerfluo-rapideco en la labora alto de la ĉambro povas esti egale distribuita. Krome, oni devas atenti striktan purigadon por redukti la poluan fonton de la planko.
5. Indukta fenomeno
La tiel nomata indukfenomeno rilatas al la fenomeno, ke aerfluo generiĝas en la kontraŭa direkto de la uniforma fluo, kaj la polvo generita en la ĉambro aŭ la polvo en la apuda poluita areo estas induktita al la kontraŭventa flanko, tiel ke la polvo povas polui la peceton. Jen la eblaj indukfenomenoj:
(1). Blinda plato
En pura ĉambro kun vertikala unudirekta fluo, pro la juntoj sur la muro, ĝenerale estas grandaj blindaj platoj, kiuj generos turbulencon en la loka revena fluo.
(2). Lampoj
La lumigiloj en la pura ĉambro havos pli grandan efikon. Ĉar la varmo de fluoreskaj lampoj kaŭzas altiĝon de la aerfluo, ne estos turbula areo sub la fluoreskaj lampoj. Ĝenerale, la lampoj en la pura ĉambro estas desegnitaj en larmoforma formo por redukti la efikon de la lampoj sur la aerfluo-organizon.
(3.) Interspacoj inter muroj
Kiam estas interspacoj inter sekcioj kun malsamaj purecniveloj aŭ inter sekcioj kaj plafonoj, polvo de la areo kun malaltaj purecpostuloj povas esti transdonita al la apuda areo kun altaj purecpostuloj.
(4). Distanco inter la maŝino kaj la planko aŭ muro
Se la interspaco inter la maŝino kaj la planko aŭ muro estas tre malgranda, ĝi kaŭzos resaltan turbulecon. Tial lasu interspacon inter la ekipaĵo kaj la muro kaj levu la maŝinon por eviti, ke ĝi tuŝu rekte la teron.
Afiŝtempo: 5-a de februaro 2025