La rendimento de ico en la icofabrikada industrio estas proksime rilata al la grandeco kaj nombro de aerpartikloj deponitaj sur la ico. Bona aerflua organizado povas forigi partiklojn generitajn de polvofontoj de la pura ĉambro kaj certigi la purecon de la pura ĉambro. Tio estas, la aerflua organizado en la pura ĉambro ludas esencan rolon en la rendimento de icoproduktado. La celoj atingendaj en la projektado de aerflua organizado en pura ĉambro estas: redukti aŭ elimini kirlofluojn en la fluokampo por eviti retenon de damaĝaj partikloj; konservi taŭgan pozitivan premgradienton por malhelpi krucpoluadon.
Laŭ la principo de pura ĉambro, la fortoj agantaj sur partikloj inkluzivas masan forton, molekulan forton, altiron inter partikloj, aerfluon, ktp.
Aerfluoforto: rilatas al la forto de aerfluo kaŭzita de proviza kaj revena aerfluo, termika konvekta aerfluo, artefarita skuado, kaj aliaj aerfluoj kun certa flukvanto por transporti partiklojn. Por puraĉambra media teknologia kontrolo, aerfluoforto estas la plej grava faktoro.
Eksperimentoj montris, ke en movado de aerfluo, partikloj sekvas la aerfluon je preskaŭ precize la sama rapideco. La stato de partikloj en aero estas determinita de la distribuo de aerfluo. La ĉefaj efikoj de aerfluo sur endomaj partikloj inkluzivas: aerprovizan aerfluon (inkluzive de primara aerfluo kaj sekundara aerfluo), aerfluon kaj termikan konvekcian aerfluon kaŭzitan de piedirantaj homoj, kaj la efikon de aerfluo sur partiklojn kaŭzitan de procezaj operacioj kaj industria ekipaĵo. Malsamaj aerprovizaj metodoj, rapidaj interfacoj, funkciigistoj kaj industria ekipaĵo, induktitaj fenomenoj, ktp. en puraj ĉambroj estas ĉiuj faktoroj, kiuj influas la purecnivelon.
1. Influo de la metodo de aerprovizado
(1) Aerproviza rapido
Por certigi unuforman aerfluon, la aerlivera rapideco en la unudirekta pura ĉambro devas esti uniforma; la morta zono sur la aerlivera surfaco devas esti malgranda; kaj la premfalo ene de la HEPA-filtrilo ankaŭ devas esti uniforma.
La aerproviza rapido estas uniforma: tio estas, la malebenaĵo de la aerfluo estas kontrolata ene de ±20%.
Estas malpli da morta spaco sur la aerproviza surfaco: ne nur la ebena areo de la hepa-kadro devus esti reduktita, sed pli grave, modula FFU devus esti uzata por simpligi la redundan kadron.
Por certigi, ke la aerfluo estas vertikala kaj unudirekta, la elekto de la premfalo de la filtrilo ankaŭ estas tre grava, kaj necesas, ke la premperdo ene de la filtrilo ne estu influita.
(2) Komparo inter FFU-sistemo kaj aksa fluo-ventumilsistemo
FFU estas aerproviza unuo kun ventumilo kaj HEPA-filtrilo. La aero estas ensorbita de la centrifuga ventumilo de la FFU kaj konvertas la dinamikan premon en statikan premon en la aerdukto. Ĝi estas elblovita egale per HEPA-filtrilo. La aerproviza premo sur la plafono estas negativa premo. Tiel neniu polvo eliros en la puran ĉambron dum anstataŭigo de la filtrilo. Eksperimentoj montris, ke la FFU-sistemo estas supera al la aksa flua ventumilo-sistemo rilate al la homogeneco de la aerelirejo, paraleleco de la aerfluo kaj indekso de la ventolada efikeco. Ĉi tio estas ĉar la paraleleco de la aerfluo de la FFU-sistemo estas pli bona. La uzo de la FFU-sistemo povas plibonigi la organizon de la aerfluo en la pura ĉambro.
(3) Influo de la propra strukturo de FFU
FFU konsistas ĉefe el ventoliloj, filtriloj, aerfluogvidiloj kaj aliaj komponantoj. La HEPA-filtrilo estas la plej grava garantio por ke pura ĉambro atingu la bezonatan purecon laŭ la dezajno. La materialo de la filtrilo ankaŭ influos la homogenecon de la fluokampo. Kiam malglata filtrilmaterialo aŭ fluoplato estas aldonita al la filtrila elirejo, la elirejo-fluokampo povas facile esti unuforma.
2. Efiko de rapida interfaco kun malsama pureco
En la sama pura ĉambro, inter la laborareo kaj la nelaborareo kun vertikala unudirekta fluo, pro la diferenco en aerrapideco ĉe la HEPA-kesto, miksita vortica efiko okazos ĉe la interfaco, kaj ĉi tiu interfaco fariĝos turbula aerfluo-zono. La intenseco de aerturbuleco estas aparte forta, kaj partikloj povas esti transdonitaj al la surfaco de la ekipaĵmaŝino kaj polui la ekipaĵon kaj obleojn.
3. Efiko sur dungitaro kaj ekipaĵo
Kiam pura ĉambro estas malplena, la aerfluaj karakterizaĵoj en la ĉambro ĝenerale plenumas la dezajnajn postulojn. Kiam ekipaĵo eniras la puran ĉambron, homoj moviĝas kaj produktoj estas transportataj, neeviteble ekestas obstakloj al la aerflua organizado, kiel ekzemple akraj pintoj elstarantaj el la ekipaĵo. Ĉe la anguloj aŭ randoj, la gaso deturniĝos por formi turbulan fluareon, kaj la fluido en la areo ne estos facile forportata de la alvenanta gaso, tiel kaŭzante poluadon.
Samtempe, la surfaco de la mekanika ekipaĵo varmiĝos pro la kontinua funkciado, kaj la temperaturgradiento kaŭzos refluan areon proksime al la maŝino, kiu pliigas la amasiĝon de partikloj en la reflua areo. Samtempe, la alta temperaturo facile kaŭzos la eskapon de la partikloj. La duobla efiko intensigas la ĝeneralan vertikalan tavolon. La malfacileco kontroli la purecon de la fluo. Polvo de funkciigistoj en pura ĉambro povas facile algluiĝi al la oblatoj en ĉi tiuj refluaj areoj.
4. Influo de reveninta aero sur la planko
Kiam la rezisto de la revenanta aero trapasanta la plankon estas malsama, okazos premdiferenco, kaŭzante aeron flui en la direkto de malgranda rezisto, kaj unuforma aerfluo ne estos atingita. La nuna populara projektmetodo estas uzi levitan plankon. Kiam la malfermo-proporcio de la levita planko estas je 10%, la aerflua rapido povas esti egale distribuita ĉe la interna laboralteco. Krome, oni devas atenti striktan purigadon por redukti la fonton de poluado sur la planko.
5. Indukta fenomeno
La tiel nomata indukfenomeno rilatas al la fenomeno de generado de aerfluo en la kontraŭa direkto al la uniforma fluo, induktante polvon generitan en la ĉambro aŭ polvon en apudaj poluitaj areoj al la kontraŭventa flanko, tiel kaŭzante ke la polvo poluas la obleton. Eblaj indukitaj fenomenoj inkluzivas la jenajn:
(1) Blinda plato
En pura ĉambro kun vertikala unudirekta fluo, pro la juntoj sur la muro, ĝenerale estas grandaj blindaj paneloj, kiuj produktos turbulan fluon kaj lokan refluon.
(2) Lampoj
Lumigiloj en pura ĉambro havos pli grandan efikon. Ĉar la varmo de la fluoreska lampo kaŭzas altiĝon de la aerfluo, la fluoreska lampo ne fariĝos turbula areo. Ĝenerale, la lampoj en pura ĉambro estas desegnitaj en larmoforma formo por redukti la efikon de la lampoj sur la organizadon de la aerfluo.
(3) Interspacoj inter muroj
Kiam estas interspacoj inter disigaj muroj aŭ plafonoj kun malsamaj purecaj postuloj, polvo el areoj kun malaltaj purecaj postuloj povas esti transdonita al apudaj areoj kun altaj purecaj postuloj.
(4) La distanco inter la mekanika ekipaĵo kaj la planko aŭ muro
Se la interspaco inter la mekanika ekipaĵo kaj la planko aŭ muro estas malgranda, okazos resalta turbuleco. Tial lasu interspacon inter la ekipaĵo kaj la muro kaj levu la maŝinplatformon por eviti rektan kontakton kun la tero.
Afiŝtempo: 2-a de novembro 2023