La pecetorendimento en peceta produktadindustrio estas proksime rilatita al la grandeco kaj nombro da aerpartikloj deponitaj sur blato. Bona aerflua organizo povas preni partiklojn generitajn de polvofontoj for de pura ĉambro kaj certigi la purecon de la purĉambro. Tio estas, la aerflua organizo en purĉambro ludas esencan rolon en la rendimento de ĉipetoproduktado. La celoj por esti atingitaj en la dezajno de purĉambra aerflua organizo estas: redukti aŭ forigi kirlofluojn en flukampo por eviti retenon de malutilaj partikloj; konservi taŭgan pozitivan premgradienton por malhelpi krucpoluadon.
Laŭ la purĉambra principo, la fortoj agantaj sur partikloj inkluzivas amasan forton, molekulan forton, altiron inter partikloj, aerfluan forton ktp.
Aerflua forto: rilatas al la forto de aerfluo kaŭzita de provizo kaj revena aerfluo, termika konvekcia aerfluo, artefarita agitado kaj aliaj aerfluoj kun certa flukvanto por porti partiklojn. Por pura ĉambro mediteknologia kontrolo, aerflua forto estas la plej grava faktoro.
Eksperimentoj montris ke en aerflumovado, partikloj sekvas la aerfluon preskaŭ precize la sama rapideco. La kondiĉo de partikloj en aero estas determinita per la aerflua distribuo. La ĉefaj efikoj de aerfluo sur endomaj partikloj inkluzivas: aerprovizon (inkluzive de primara aerfluo kaj malĉefa aerfluo), aerfluo kaj termika konvekcia aerfluo kaŭzita de homoj marŝantaj, kaj la efiko de aerfluo sur partikloj kaŭzitaj de procezaj operacioj kaj industria ekipaĵo. Malsamaj aerprovizaj metodoj, rapidaj interfacoj, funkciigistoj kaj industriaj ekipaĵoj, induktitaj fenomenoj ktp en purĉambroj estas ĉiuj faktoroj kiuj influas la purecon.
1. Influo de aerproviza metodo
(1) Aera provizado rapido
Por certigi unuforman aerfluon, la aerprovizorapideco en la unudirekta fluo pura ĉambro devas esti unuforma; la morta zono sur la aerproviza surfaco devas esti malgranda; kaj la premofalo ene de hepa filtrilo ankaŭ devas esti unuforma.
La aerprovizorapideco estas unuforma: tio estas, la malebeneco de la aerfluo estas kontrolita ene de ±20%.
Estas malpli morta spaco sur la aerprovizosurfaco: ne nur la ebena areo de la hepa kadro estu reduktita, sed pli grave, modula FFU devus esti uzata por simpligi la redundan kadron.
Por certigi, ke la aerfluo estas vertikala kaj unudirekta, la premfalo-elekto de la filtrilo ankaŭ estas tre grava, kaj necesas, ke la premoperdo ene de la filtrilo ne povas esti influita.
(2) Komparo inter FFU-sistemo kaj aksa flua ventumila sistemo
FFU estas aerproviza unuo kun ventumilo kaj hepa filtrilo. La aero estas suĉita enen per la centrifuga adoranto de la FFU kaj transformas la dinamikan premon en senmovan premon en la aerdukto. Ĝi estas elblovita egale per hepa filtrilo. La aerprovizopremo sur la plafono estas negativa premo. Tiel neniu polvo elfluos en puran ĉambron kiam oni anstataŭigas la filtrilon. Eksperimentoj montris, ke la FFU-sistemo estas pli bona ol la aksa flua ventumila sistemo laŭ unuformeco de aerfluo, paraleleco de aerfluo kaj indico de efikeco de ventolado. Ĉi tio estas ĉar la aerflua paraleleco de la FFU-sistemo estas pli bona. La uzo de la FFU-sistemo povas plibonigi la aerfluan organizon en pura ĉambro.
(3) Influo de la propra strukturo de FFU
FFU estas ĉefe kunmetita de ventumiloj, filtriloj, aerfluaj gvidiloj kaj aliaj komponantoj. La hepa filtrilo estas la plej grava garantio por pura ĉambro por atingi la bezonatan purecon postulatan de dezajno. La materialo de la filtrilo ankaŭ influos la unuformecon de la fluokampo. Kiam malglata filtrila materialo aŭ fluplato estas aldonita al la filtrila ellasejo, la ellasiga fluokampo povas esti facile uniformigita.
2. Efiko de rapida interfaco kun malsama pureco
En la sama pura ĉambro, inter la laborareo kaj la nelabora areo kun vertikala unudirekta fluo, pro la diferenco en aerrapideco ĉe la hepa skatolo, miksita vortica efiko okazos ĉe la interfaco, kaj ĉi tiu interfaco fariĝos turbula. aerflua zono. La intenseco de aera turbuleco estas precipe forta, kaj partikloj povas esti transdonitaj al la surfaco de la ekipaĵmaŝino kaj polui la ekipaĵon kaj oblatojn.
3. Efiko sur dungitaro kaj ekipaĵo
Kiam pura ĉambro estas malplena, la aerfluaj trajtoj en la ĉambro ĝenerale plenumas la dezajnajn postulojn. Post kiam ekipaĵo eniras puran ĉambron, homoj moviĝas, kaj produktoj estas transportitaj, estas neeviteble malhelpoj al la aerflua organizo, kiel akraj punktoj elstarantaj el la ekipaĵmaŝino. Ĉe la anguloj aŭ randoj, la gaso deturniĝos por formi turbulan fluareon, kaj la likvaĵo en la areo ne estos facile forportita per la envenanta gaso, tiel kaŭzante poluon.
Samtempe, la surfaco de la mekanika ekipaĵo varmiĝos pro daŭra funkciado, kaj la temperaturgradiento kaŭzos refluan areon proksime de la maŝino, kio pliigas la amasiĝon de partikloj en reflua areo. Samtempe, la alta temperaturo facile kaŭzos la erojn eskapi. La duobla efiko intensigas la ĝeneralan vertikalan tavolon. La malfacileco kontroli la purecon de la fluo. Polvo de funkciigistoj en pura ĉambro povas facile aliĝi al oblatoj en ĉi tiuj refluaj areoj.
4. Influo de revena aero planko
Kiam la rezisto de la revena aero trapasanta la plankon estas malsama, la premdiferenco okazos, kaŭzante aeron flui en la direkto de malgranda rezisto, kaj uniforma aerfluo ne estos akirita. La nuna populara dezajnometodo estas uzi levita planko. Kiam la malferma proporcio de la levita planko estas je 10%, la aerflua rapido povas esti egale distribuita ĉe la endoma laboralteco. Krome, strikta atento devas esti pagita al purigado de laboro por redukti la fonton de poluo sur la planko.
5. Indukta fenomeno
La tielnomita induktofenomeno rilatas al la fenomeno de generado de aerfluo en la kontraŭa direkto al la unuforma fluo, induktante polvon generitan en ĉambro aŭ polvon en apudaj poluitaj lokoj al la kontraŭventa flanko, tiel igante la polvon polui la oblaton. Eblaj induktitaj fenomenoj inkludas la sekvantajn:
(1) Blinda telero
En pura ĉambro kun vertikala unudirekta fluo, pro la juntoj sur la muro, ekzistas ĝenerale grandaj blindaj paneloj kiuj produktos turbulan fluon kaj lokan retrofluon.
(2) Lampoj
Lumaj aparatoj en pura ĉambro havos pli grandan efikon. Ĉar la varmeco de la fluoreska lampo igas la aerfluon pliiĝi, la fluoreska lampo ne fariĝos turbula areo. Ĝenerale, la lampoj en pura ĉambro estas desegnitaj en larmoguta formo por redukti la efikon de la lampoj sur aerflua organizo.
(3) Interspacoj inter muroj
Kiam estas interspacoj inter sekciomuroj aŭ plafonoj kun malsamaj purecpostuloj, polvo de areoj kun malaltaj purecpostuloj povas esti transdonita al apudaj areoj kun altaj purecpostuloj.
(4) La distanco inter la mekanika ekipaĵo kaj la planko aŭ muro
Se la interspaco inter la mekanika ekipaĵo kaj la planko aŭ muro estas malgranda, resalta turbuleco okazos. Sekve, lasu interspacon inter la ekipaĵo kaj la muro kaj levu la maŝinan platformon por eviti rektan kontakton kun la grundo.
Afiŝtempo: Nov-02-2023