Puraj ĉambroj ankaŭ nomiĝas senpolvaj ĉambroj. Ili estas uzataj por eligi poluaĵojn kiel polvopartiklojn, damaĝan aeron kaj bakteriojn en la aero ene de certa spaco, kaj por kontroli la internan temperaturon, purecon, internan premon, aerfluorapidecon kaj aerfluodistribuon, bruon, vibron, lumon kaj statikan elektron ene de certa intervalo. La sekvanta ĉefe priskribas la kvar necesajn kondiĉojn por atingi purecajn postulojn en purigaj mezuroj de puraj ĉambroj.
1. Pureco de la aerprovizo
Por certigi, ke la pureco de la aerprovizo plenumas la postulojn, la ŝlosilo estas la funkciado kaj instalado de la fina filtrilo de la puriga sistemo. La fina filtrilo de la puraĉambra sistemo ĝenerale uzas HEPA-filtrilon aŭ sub-HEPA-filtrilon. Laŭ naciaj normoj, la efikeco de HEPA-filtriloj estas dividita en kvar gradojn: Klaso A estas ≥99.9%, Klaso B estas ≥99.99%, Klaso C estas ≥99.999%, Klaso D estas (por partikloj ≥0.1μm) ≥99.999% (ankaŭ konataj kiel ultra-HEPA-filtriloj); sub-HEPA-filtriloj estas (por partikloj ≥0.5μm) 95~99.9%.
2. Aerflua organizado
La organizado de aerfluo en pura ĉambro diferencas de tiu de ĝenerala klimatizita ĉambro. Ĝi postulas, ke la plej pura aero estu unue liverata al la operacia areo. Ĝia funkcio estas limigi kaj redukti la poluadon de la prilaboritaj objektoj. Malsamaj organizadoj de aerfluo havas siajn proprajn karakterizaĵojn kaj ampleksojn: Vertikala unudirekta fluo: Ambaŭ povas atingi unuforman malsupreniran aerfluon, faciligi la aranĝon de procesekipaĵo, havi fortan mempurigan kapablon, kaj povas simpligi oftajn instalaĵojn kiel ekzemple personaj puraj ĉambraj instalaĵoj. La kvar aerprovizaj metodoj ankaŭ havas siajn proprajn avantaĝojn kaj malavantaĝojn: plene kovritaj HEPA-filtriloj havas la avantaĝojn de malalta rezisto kaj longa filtrila anstataŭiga ciklo, sed la plafona strukturo estas kompleksa kaj la kosto estas alta; la avantaĝoj kaj malavantaĝoj de flank-kovrita HEPA-filtrila supra liverado kaj plen-trua plata supra liverado estas kontraŭaj al tiuj de plene kovrita HEPA-filtrila supra liverado. Inter ili, la plen-trua plata supra liverado emas al polvo-amasiĝo sur la interna surfaco de la orificila plato kiam la sistemo ne funkcias kontinue, kaj malbona prizorgado havos ian efikon sur la purecon; Densa difuzilo kun supra liverado postulas miksan tavolon, do ĝi taŭgas nur por altaj puraj ĉambroj super 4m, kaj ĝiaj karakterizaĵoj similas al tiuj de plentrua plata supra liverado; la metodo de revena aero por la platoj kun kradoj ambaŭflanke kaj la revenaj aeraj elirejoj egale aranĝitaj ĉe la fundo de la muroj ambaŭflanke taŭgas nur por puraj ĉambroj kun neta interspaco malpli ol 6m ambaŭflanke; la revenaj aeraj elirejoj ĉe la fundo de la unuflanka muro taŭgas nur por puraj ĉambroj kun malgranda interspaco inter muroj (kiel ekzemple ≤2~3m). Horizontala unudirekta fluo: nur la unua laborareo atingas la 100-nivelan purecon. Kiam la aero fluas al la alia flanko, la polvokoncentriĝo iom post iom pliiĝas. Tial, ĝi taŭgas nur por puraj ĉambroj kun malsamaj purecaj postuloj por la sama procezo. La loka distribuo de HEPA-filtriloj sur la aerproviza muro povas redukti la uzon de HEPA-filtriloj kaj ŝpari komencan investon, sed ekzistas kirloj en lokaj areoj. Turbula aerfluo: La karakterizaĵoj de la supra liverado de orificplatoj kaj la supra liverado de densaj difuziloj estas la samaj kiel tiuj menciitaj supre. La avantaĝoj de flanka liverado estas facila aranĝo de la duktoj, manko de teknika intertavolo, malalta kosto, kaj favora al la renovigo de malnovaj fabrikoj. La malavantaĝoj estas, ke la ventrapido en la laborareo estas granda, kaj la polvokoncentriĝo ĉe la flanko laŭvente estas pli alta ol ĉe la flanko suprenvente. La supra liverado de HEPA-filtrilaj elirejoj havas la avantaĝojn de simpla sistemo, manko de duktoj malantaŭ la HEPA-filtrilo, kaj pura aerfluo rekte liverata al la laborareo, sed la pura aerfluo difuziĝas malrapide kaj la aerfluo en la laborareo estas pli uniforma. Tamen, kiam pluraj aerelirejoj estas egale aranĝitaj aŭ HEPA-filtrilaj elirejoj kun difuziloj estas uzataj, la aerfluo en la laborareo ankaŭ povas esti pli uniforma. Tamen, kiam la sistemo ne funkcias kontinue, la difuzilo emas al polvoamasiĝo.
3. Aerproviza volumeno aŭ aerrapideco
Sufiĉa ventoladkvanto estas por dilui kaj forigi endoman poluitan aeron. Laŭ malsamaj purecaj postuloj, kiam la neta alteco de la pura ĉambro estas alta, la ventoladfrekvenco devus esti konvene pliigita. Inter ili, la ventoladkvanto de la pura ĉambro de 1 miliono estas konsiderata laŭ la alt-efika pura ĉambra sistemo, kaj la resto estas konsiderata laŭ la alt-efika pura ĉambra sistemo; kiam la HEPA-filtriloj de la pura ĉambro de klaso 100.000 estas koncentritaj en la maŝinejo aŭ la sub-HEPA-filtriloj estas uzataj ĉe la fino de la sistemo, la ventoladfrekvenco povas esti konvene pliigita je 10% ĝis 20%.
4. Statika prema diferenco
Konservi certan pozitivan premon en la pura ĉambro estas unu el la esencaj kondiĉoj por certigi, ke la pura ĉambro ne estas aŭ estas malpli poluita por konservi la destinitan purecnivelon. Eĉ por negativa prema pura ĉambro, ĝi devas havi apudan ĉambron aŭ apartamenton kun purecnivelo ne pli malalta ol ĝia nivelo por konservi certan pozitivan premon, por ke la pureco de la negativa prema pura ĉambro povu esti konservita. La pozitiva prema valoro de la pura ĉambro rilatas al la valoro kiam la interna statika premo estas pli granda ol la ekstera statika premo kiam ĉiuj pordoj kaj fenestroj estas fermitaj. Tio estas atingita per la metodo, ke la aerproviza volumeno de la puriga sistemo estas pli granda ol la revena aervolumeno kaj la elĉerpa aervolumeno. Por certigi la pozitivan preman valoron de la pura ĉambro, estas plej bone interligi la aerprovizon, revenan aeron kaj elĉerpan ventolilojn. Kiam la sistemo estas ŝaltita, la proviza ventolilo unue ekfunkcias, kaj poste la revena ventolilo kaj elĉerpa ventolilo; kiam la sistemo estas malŝaltita, la elĉerpa ventolilo unue malŝaltas, kaj poste la revena ventolilo kaj elĉerpa ventolilo estas malŝaltitaj por malhelpi la puran ĉambron esti poluita kiam la sistemo estas ŝaltita kaj malŝaltita. La aerkvanto bezonata por konservi la pozitivan premon de la pura ĉambro estas ĉefe determinita de la streĉeco de la prizorgada strukturo. En la frua stadio de konstruado de puraj ĉambroj en Ĉinio, pro la malbona streĉeco de la enfermita strukturo, necesis 2~6 fojojn/horo da aerprovizo por konservi pozitivan premon de ≥5Pa; nuntempe, la streĉeco de la prizorgada strukturo estis multe plibonigita, kaj necesas nur 1~2 fojojn/horo da aerprovizo por konservi la saman pozitivan premon; necesas nur 2~3 fojojn/horo da aerprovizo por konservi ≥10Pa. Naciaj dezajnaj specifoj stipulas, ke la statika premdiferenco inter puraj ĉambroj de malsamaj niveloj kaj inter puraj areoj kaj nepuraj areoj ne estu malpli ol 0.5mmH2O (~5Pa), kaj la statika premdiferenco inter la pura areo kaj la ekstero ne estu malpli ol 1.0mmH2O (~10Pa).
Afiŝtempo: Mar-03-2025