SPECIFICADOJ DE PURA ĈAMBRO

La determino de la aerpurecnivelo de ĉiu pura ĉambro devas plenumi la sekvajn postulojn:

1. Kiam ekzistas pluraj procezoj en pura ĉambro, malsamaj niveloj de aerpureco devas esti adoptitaj laŭ la malsama postulo de ĉiu procezo.

1. Sur la kondiĉo renkonti la postulojn de produktada procezo, la aera distribuo kaj pureca nivelo de la pura ĉambro devus adopti kombinaĵon de loka laborareo aera purigo kaj tuta ĉambra aerpurigo.

(1).Laminarflua pura ĉambro, turbula fluo pura ĉambro kaj pura ĉambro kun malsamaj operaciaj deĵoroj kaj uzadotempoj devus havi apartigitajn purigitajn klimatizilsistemojn.

(2).La kalkulita temperaturo kaj relativa humideco en pura ĉambro devas plenumi la jenajn regulojn:

①Renkontu produktadprocezpostulojn;

②Kiam ne ekzistas postuloj pri temperaturo aŭ humideco por la produktada procezo, la pura ĉambra temperaturo estas 20-26℃ kaj relativa humideco estas 70%.

1. Certa kvanto da freŝa aero devas esti certigita en pura ĉambro, kaj ĝia valoro devas esti prenita kiel la maksimumo de la sekvaj aervolumoj;

(1).10% ĝis 30% de la totala aerprovizo en turbula fluo pura ĉambro, kaj 2-4% de la totala aerprovizo en laminara fluo pura ĉambro.

(2).La kvanto de freŝa aero estas postulata por kompensi endoman ellasan aeron kaj konservi endoman pozitivan preman valoron.

(3).Certigu, ke endoma freŝa aero volumeno po persono je horo ne estu malpli ol 40 kubaj metroj.

1. Kontrolo de pozitiva premo de pura ĉambro

Pura ĉambro devas konservi certan pozitivan premon.La statika premodiferenco inter puraj ĉambroj de malsamaj niveloj kaj inter pura areo kaj nepura areo ne devus esti malpli ol 5Pa, kaj la statika premodiferenco inter pura areo kaj subĉiela ne devus esti malpli ol 10Pa.