Mediprotektado estas donata pli kaj pli da atento, precipe pro la kreskanta nebula vetero. Purĉambra inĝenierarto estas unu el la mediprotektaj mezuroj. Kiel uzi purĉambran inĝenierarton por fari bonan laboron en mediprotektado? Ni parolu pri la kontrolo en puraĉambra inĝenierarto.
Temperaturo kaj humideco-kontrolo en pura ĉambro
La temperaturo kaj humideco de puraj spacoj estas ĉefe determinitaj surbaze de procezaj postuloj, sed kiam oni plenumas procezajn postulojn, oni devas konsideri homan komforton. Kun plibonigo de la postuloj pri aerpureco, ekzistas tendenco al pli striktaj postuloj pri temperaturo kaj humideco en la procezo.
Ĝenerale, pro la kreskanta precizeco de prilaborado, la postuloj pri temperaturfluktuointervalo fariĝas pli kaj pli malgrandaj. Ekzemple, en la litografio kaj eksponado de grandskala produktado de integraj cirkvitoj, la diferenco en termika ekspansiokoeficiento inter vitro kaj siliciaj platetoj uzataj kiel maskomaterialoj fariĝas pli kaj pli malgranda.
Silicia plateto kun diametro de 100 μm kaŭzas linian ekspansion de 0.24 μm kiam la temperaturo altiĝas je 1 grado. Tial, konstanta temperaturo de ± 0.1 ℃ estas necesa, kaj la humideco ĝenerale estas malalta, ĉar post ŝvitado la produkto poluiĝos, precipe en duonkonduktaĵaj metiejoj, kiuj timas natrion. Ĉi tiu speco de metiejo ne devus superi 25 ℃.
Troa humideco kaŭzas pliajn problemojn. Kiam la relativa humideco superas 55%, kondensiĝo formiĝos sur la muro de la malvarmiga akvotubo. Se tio okazas en precizaj aparatoj aŭ cirkvitoj, ĝi povas kaŭzi diversajn akcidentojn. Kiam la relativa humideco estas 50%, ĝi facile rustiĝas. Krome, kiam la humideco estas tro alta, la polvo algluiĝanta al la surfaco de la silicia oblato estos kemie adsorbita sur la surfacon tra akvomolekuloj en aero, kio estas malfacile forigebla.
Ju pli alta estas la relativa humideco, des pli malfacile estas forigi la adheron. Tamen, kiam la relativa humideco estas sub 30%, la partikloj ankaŭ facile adsorbiĝas sur la surfaco pro la ago de elektrostatika forto, kaj granda nombro da duonkonduktaĵaj aparatoj emas rompiĝi. La optimuma temperaturintervalo por produktado de siliciaj platoj estas 35-45%.
Aerpremokontroloen pura ĉambro
Por plej multaj puraj spacoj, por malhelpi eksteran poluadon invadi, necesas konservi internan premon (statikan premon) pli altan ol eksteran premon (statikan premon). La konservado de premdiferenco ĝenerale devas konformiĝi al la jenaj principoj:
1. La premo en puraj spacoj devus esti pli alta ol tiu en neluraj spacoj.
2. La premo en spacoj kun altaj purecniveloj devus esti pli alta ol tiu en apudaj spacoj kun malaltaj purecniveloj.
3. La pordoj inter puraj ĉambroj estu malfermitaj al ĉambroj kun altaj niveloj de pureco.
La bontenado de la premdiferenco dependas de la kvanto de freŝa aero, kiu devus povi kompensi la aerelfluon el la interspaco sub ĉi tiu premdiferenco. Do la fizika signifo de premdiferenco estas la rezisto al elflua (aŭ enfiltriĝa) aerfluo tra diversaj interspacoj en pura ĉambro.
Afiŝtempo: 21-a de Julio, 2023