Mediprotektado estas pli kaj pli atentata, precipe kun pliiĝo de nebuleca vetero.Purĉambra inĝenierado estas unu el la mediprotektaj mezuroj.Kiel uzi puran ĉambran inĝenieristikon por fari bonan laboron en mediprotektado?Ni parolu pri la kontrolo en pura ĉambro-inĝenierado.
Kontrolo de temperaturo kaj humideco en pura ĉambro
La temperaturo kaj humideco de puraj spacoj estas ĉefe determinitaj surbaze de procezaj postuloj, sed plenumante procezpostulojn, homa komforto devas esti konsiderata.Kun la plibonigo de aera pureco postuloj, estas tendenco de pli striktaj postuloj por temperaturo kaj humideco en procezo.
Kiel ĝenerala principo, pro la kreskanta precizeco de prilaborado, la postuloj por temperatura fluktuo gamo fariĝas pli kaj pli malgrandaj.Ekzemple, en la litografio kaj ekspozicio procezo de grandskala integra cirkvito produktado, la diferenco en termika ekspansio koeficiento inter vitro kaj silicio oblatoj uzataj kiel masko materialoj iĝas ĉiam pli malgranda.
Silicia oblato kun diametro de 100 μ m kaŭzas linian ekspansion de 0,24 μ m kiam la temperaturo altiĝas je 1 grado.Sekve, konstanta temperaturo de ± 0,1 ℃ estas necesa, kaj la humideca valoro estas ĝenerale malalta ĉar post ŝvitado, la produkto estos poluita, precipe en semikonduktaĵoj, kiuj timas natrion.Ĉi tiu speco de laborrenkontiĝo ne devus superi 25℃.
Troa humido kaŭzas pli da problemoj.Kiam la relativa humideco superas 55%, kondensado formiĝos sur la malvarmiga akvotuba muro.Se ĝi okazas en precizecaj aparatoj aŭ cirkvitoj, ĝi povas kaŭzi diversajn akcidentojn.Kiam la relativa humideco estas 50%, estas facile rusti.Krome, kiam la humido estas tro alta, la polvo aliĝanta al la surfaco de la silicia oblato estos kemie adsorbita sur la surfaco per akvomolekuloj en aero, kiu estas malfacile forigebla.
Ju pli alta estas la relativa humideco, des pli malfacile estas forigi la adheron.Tamen, kiam la relativa humideco estas sub 30%, eroj estas ankaŭ facile adsorbitaj sur la surfaco pro la agado de elektrostatika forto, kaj granda nombro da duonkonduktaĵoj estas inklinaj al paneo.La optimuma temperaturintervalo por produktado de silicioblato estas 35-45%.
Aera premokontroloen pura ĉambro
Por la plej multaj puraj spacoj, por malhelpi eksteran poluadon invadi, necesas konservi internan premon ( statika premo ) pli alta ol ekstera premo ( statika premo ).La konservado de premdiferenco ĝenerale devas plenumi la jenajn principojn:
1. La premo en puraj spacoj estu pli alta ol tiu en nepuraj spacoj.
2. La premo en spacoj kun altaj purecniveloj estu pli alta ol tiu en apudaj spacoj kun malaltaj purecniveloj.
3. La pordoj inter puraj ĉambroj devas esti malfermitaj al ĉambroj kun altaj purecaj niveloj.
La konservado de premdiferenco dependas de la kvanto de freŝa aero, kiu devus povi kompensi la aerfluon de la interspaco sub ĉi tiu premdiferenco.Do la fizika signifo de premdiferenco estas la rezisto de elfluo (aŭ enfiltriĝo) aerfluo tra diversaj breĉoj en pura ĉambro.
Afiŝtempo: Jul-21-2023